异质材料焊接与连接第四届学术会议
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光电子能谱仪

本实用新型公开了一种光电子能谱仪,主要包括分析腔体、抽真空组件、电子能量分析器、激发光源、样品台以及传样腔等。在分析腔体上自下往上依次设定抽真空高度、分析高度、传样高度;抽真空组件设置在分析腔体的抽真空高度附近,电子能量分析器、激发光源设置在分析腔体的分析高度附近,样品台延伸至分析腔体内且能上下移动;传样腔设置在传样高度附近,通过其内部的磁力杆实现样品在传样腔和分析腔体之间的传递。本申请在结构设计上因分析、传样、抽真空高度位于不同高度,可以避免传样时碰撞分析器的风险;本申请分析腔体采用柱状结构,将顶部空间变成开放式,提供了一个与柱状腔体直径相对的操作空间,便于分析腔内部增加大尺寸结构装置。

2024-04-08
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