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KJ-T1200-S60K-4C型四路高温真空CVD设备由KJ-T1200滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1200度,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计,可以对多种气体进行准确的混气,然后导入到管式炉内部。快速退火炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加为取得最快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端,是低成本快速热处理的理想炉子。
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该设备由蒸发器、混合器和反应器组成。采用氧化铝纤维耐火材料。设备技术成熟、质量可靠,温场均匀,结构合理,30段可编程温控系统,气路选用液晶屏触摸界面,使得操作异常简单、方便设置各项技术参数。该CVD高温炉广泛应用于半导体工业中,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料等的镀膜,该CVD镀膜设备可在目标材料表面形成密集的HfCl4涂层.适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。
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KJ-T1200 CVD是一种管式炉,配备100mm直径石英管、真空泵和五通道质量流量计气体流动系统。 它可以混合1-5种气体用于CVD或扩散。该CVD高温管式炉主要用于大学,科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
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KJ-CVD 是一种分体式管式炉,配备 60mm 直径的石英管、真空泵和四通道质量流量计气体流动系统。 可混合1-6种气体进行CVD。款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
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该高温化学气相沉积系统的工作温度为300℃至1600℃,配备真空泵,气体混合装置。采用温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,出色的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学,科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
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该设备是一款带有预热系统的滑动PECVD系统。该系统包含等离子射频电源,预热炉,滑动式管式炉,4通道质量流量供气系统和旋片泵组成。 PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜,可用于生长纳米或CVD方法来制作各种薄膜。
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科佳高真空PECVD设备由管式炉、真空系统、气体供应系统、射频电源系统等组成。通过射频电源将石英真空室中的气体改变为离子状态,等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。该系统主要用于金属薄膜、陶瓷薄膜、复合薄膜、石墨烯等的生长。
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该立式双温区CVD系统主要由:1200度双温区管式炉、3通道质量流量计供气系统、2L/S抽速真空泵及相关连接件组成;设备下方加装定向轮和万向轮,设备整体占地尺寸小并可灵活移动。该设备适用于CVD工艺,主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
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科佳公司研制开发了碳纳米管、纳米线连续生长专用设备,该设备由气流控制系统、注液系统、多级温控多区生长系统、水冷系统、碳纳米管等组成。碳纳米管生长炉最高工作温度为1400℃,可在0-1400℃之间连续调节,热场垂直分布,两点控温。设备顶部设有注液口和导流件。这种碳纳米管/薄膜CVD设备可以实现连续和不间断生长。
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KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制备机是由KJ-T1200开启式滑轨管式炉、真空系统、质量流量计气路系统、等离子电源系统组成。可适用于石墨烯生长等。
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KJ-T1200CVD是一种管式炉,配备60mm直径的高纯石英炉管、真空泵和四通道质量流量计+一个浮子流量计气体流动系统。它可以混合1-4种气体用于CVD或扩散。
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六通道高真空PECVD系统是一款由1200度管式炉,等离子射频电源,分子泵高真空,六通道气路等组成的等离子化学气相沉积系统,加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研究。该等离子化学沉积系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等。也可可应用于纳米材料生长,石墨烯生成、金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜等各种薄膜等,可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏
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该设备主要用于石墨稀、納米材料工艺涂层、多晶硅、碳化硅、扩散、氧化、退火等工艺。
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KJ-MZ1700-12LX带搅拌功能升降式炉主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,供化学分析、物理测定以及金属、陶瓷等的烧结和溶解,小型钢件等加热、焙烧、热处理用。
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这款底部装料马弗炉工作温度≤1600℃。紧凑型炉腔设计,带升降托盘,炉底可升降。该高温箱式升降炉是研究实验室中进行材料退火和烧结的理想设备。
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供企业实验室、科研单位作样品分析测定、氧化铝制品、粉末冶金、纳米材料的烧结。玻璃、晶体的精密退火、金属零件淬火、退火、回火等需快速升温工艺要求的热处理。
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该款箱式马弗炉各项指标均达到了标准水平,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,供化学分析、物理测定以及金属、陶瓷等的烧结和溶解,应用于电子元件、粉末冶金、磁性材料等产品的排胶、预烧和烧成,也可用于其它材料的热处理工艺等。
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科佳KJ-M1700-96LZ 1700℃大型智能一体马弗炉温控系统与炉体集成在一体,结构紧凑,外形美观大方,操作方便,使用稳定可靠;炉膛采用新型陶瓷纤维材料,升温快、保温好、轻质节能;产品采用智能控制,以微处理器作为控制中心,PID控制算法和自适应控制技术,能够智能控制预加热温度。液晶显示屏,全中文显示数据和进程。
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2026年05月13日 ~ 15日
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