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纳米光谱在线测厚仪

644

规格/型号：暂无

品牌：赛默斐视

应用领域：检测设备

产地：江苏 - 无锡

厂家/供应商：无锡赛默斐视科技有限公司

咨询电话:：18112358302（请说明信息源自“北方有色网”）

更新时间：2025-03-17

级别：待认证

纳米光谱在线测厚仪说明介绍

纳米光谱在线测厚仪

品牌型号：赛默斐视

检测对象：薄膜/镀膜/涂布等

厚度范围： 10纳米-100微米

检测精度： 0.1mm(取决于相机数量、产线幅宽及车速)

软件功能：提供针对客户在线系统的定制检测系统

产品介绍

现代薄膜涂布镀层工艺在进行在线生产过程中，需要对膜厚及涂层厚度进行实时的在线测厚，由于传统的射线类膜厚检测仪检测精度低、易偏移、难于校准等缺点给实际的工艺产品质量控制造成了很大的影响，SIMV涂层(膜厚)在线测厚仪，采用纳米光学干涉的方式，可同时对20层不用涂层、薄膜进行同时测量，同时精度高达1nm，完美的解决了传统射线类在线测厚仪有辐射、偏移周期长、检测精度低、不能检测涂层厚度的缺点。赛默斐视涂层厚度在线测厚仪检测精度高，同时能够实时在线自动校准，有效的保证了在线测厚仪的检测精度。

【检测原理】

当特定波长的光通过不同的的材料(不同的厚度、密度、成分)时，经过表面及内部多次反射之后形成的光谱条纹是完全不一样的，系统通过分析所接收到的反射光的光谱干涉条纹特性，与系统库中的光谱曲线进行匹配和对比，同时进行特征曲线的仿真和拟合，进而对每种不同成分厚度的涂层进行在线测量。

1.入射光在膜的上下表面发生多次反射。

2.反射光的强度和薄膜折射率，基底(substrate)折射率及膜厚，波长有关。

3.在已知折射率的情况下，根据测量出的反射光强和波长的函数，计算出膜厚。

功能概述

1测量镀膜或涂布厚度，厚度范围在10纳米-100微米，准确度达到2纳米或厚度0.4%，精度达到0.1纳米，测量稳定性0.3纳米。

2精确测量样品的颜色和在380-780纳米可见光范围内的反射率曲线。

3测量软件支持20层以内的物理模型，并对多个参数进行同时测量。

4具有折射率模型编辑拟合功能，对于100纳米-几个微米的膜，可以在折射率未知的情况下，结合软件对膜厚，折射率参数进行同时测量。

5软件具有对样品的粗糙度，背面反射，多角度入射进行建模的功能

6软件还可针对已知样品的模型，使用不同入射角和偏振进行仿真以计算不同情况下反射率曲线。