简介
Filmetrics的薄膜电阻测量设备开发源自于有着超过30年经验的KLA的薄膜电阻计量技术,并由20年台式测量设备开发经验的Filmetrics团队完善了桌面式方块电阻测量产品。KLA薄膜电阻测量技术包括接触(4PP)和非接触(EC)方法。
Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在多种基材上的导电片和薄膜,跨越10个数量级范围电阻率,包括:半导体晶圆基板、玻璃基板、塑料(柔性)基材、PCB图案特征、太阳能电池、平板显示层和图案化特征、金属箔
技术参数
技术规格
测量范围:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;
测量精度: +/- 1%;
重复度: 小于 0.2%;
样品图中无限量的测量点位,自定义测量Recipe,可线性、矩形、
较为坐标以及自定义等。
应用案例
支持广泛的测量,包括但不限于以下各项:
金属膜厚度、基板厚度、方块电阻、电阻率、电导率、掺杂浓度等。