本实用新型的技术目的是提供一种通过摆臂及吸附结构,定位精确的全自动晶圆分选机旋转取料结构。包括有旋转电机,所述旋转电机的电机轴上设有一摆臂基座,在所述摆臂机座上设有摆臂,在所述摆臂的上端设有吸嘴,所述吸嘴连通吸放气缸。本实用新型将将摆臂基座及摆臂旋转到准确的工位,通过吸嘴将细小的晶片吸附,可实现精确的取晶片的工序。可微调摆臂的延伸距离,精确而又稳定。适用于晶圆分选机中应用。
本实用新型公开了一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置,具体涉及晶圆加工领域,包括工作台,所述工作台的一侧设置有夹紧机构,所述夹紧机构包括滑板、安装架、连杆组件和用于夹紧晶圆贴片的夹持板,所述夹持板和滑板固定连接,滑板和工作台滑动连接,所述滑板通过连杆组件和气缸的活动端相连接,气缸控制活动端的收回时,气缸的活动端拉动转轴,转轴带动连杆三,从而带动连杆一和连杆二控制两个滑板在工作台上相向靠近滑动,使得滑板带动夹持板对工作台上的晶圆贴片进行夹紧,便于在晶圆分选机将晶圆粘贴到晶圆铁片上时,晶圆贴片的稳定性。