用磁控溅射方法制备Ta/CoFe/Fe/Au/Fe/IrMn/Ta和Ta/CoFe1/Au/CoFe2/IrMn/Ta两种多层膜结构的自旋阀，并优化各功能层的溅射参数有效调控了磁化翻转场和磁电阻特性。根据TEM确定了样品多层膜的微观结构和膜厚，使用VSM和加磁场四探针法分别测量了样品的磁滞回线和磁电阻(MR)特性曲线。结果表明，样品中隔离层Au的厚度与MR值之间存在振荡衰减的关系；而钉扎层、自由层和被钉扎层的厚度直接影响各膜层的矫顽力和饱和磁化强度等磁学性能，进而改变MR值。各层厚度为6/6/3.8/6/9/6 nm的Ta/CoFe1/Au/CoFe2/IrMn/Ta结构自旋阀，具有最佳的MR值。

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溅射态的FePt单层膜和FePt/Fe多层膜中的FePt相是FCC结构的无序相，是软磁性的，矫顽力较小(38.8Oe)，饱和磁化强度较高(1.39T) 。经过500℃以上热处理后，FCC结构的无序相转变成FCT结构的有序相，从而变成硬磁相，其矫顽力较高。经过热处理后，FePt/Fe多层膜中的晶粒度增加，晶格常数变小，说明FePt层中Fe的成分增加，形成富铁相。700℃热处理后，由于第二相软磁相的析出，磁滞回线出现明显的二相形状。随着退火温度的升高，FePt晶粒长大并逐趋完善。FePt层较薄的样品的软硬磁相之间耦合不足。