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RTP真空快速退火炉

RTP真空快速退火炉

255
规格/型号:KJ-TRTP1000
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::17737149370(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-06-17
级别:待认证

RTP真空快速退火炉说明介绍

RTP真空快速退火炉

设备介绍

真空RTP退火炉是一款真空度比较高的快速热处理管式炉,配有石英腔体和真空法兰,采用卤素灯加热,升温速度可达50℃/秒,PID自动控制,30段可编程序,它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计。该高温退火管式炉可在真空、气氛环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

产品优势

卤素灯加热 升温速度快

加热元件采用卤素灯加热,升温速度可达50℃/秒

底部滑轨设计 实现快速冷却

炉子的底部安装有一对滑轨,可使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧,以实现快速加热和快速冷却

30段高精度数字可编程

30段高精度数字可编程温度控制器,控温精度高,可达±1℃

技术参数


产品名称 RTP 快速退火炉

工作温度 900℃

控 制 器 LED(可选配LCD触屏)

炉 膛 开启式 滑道式

炉管尺寸 根据需求尺寸定制

加热元件 卤素灯

升温速率 ≤50℃/S

热 电 偶 根据实际需要设计来配

温度控制器 30段高精度数字可编程温度控制器

特殊要求

具体细节可根据客户需求定制(详情欢迎来电咨询我们)

1、可定制真空系统

2、可定制气路系统

3、其他特殊工艺需求
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