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FPGA数字式MF/DC溅射电源

FPGA数字式MF/DC溅射电源

2838
规格/型号：FPGA
品牌：暂无
应用领域：暂无
产地：湖南 - 衡阳
厂家/供应商：湖南众源科技有限公司
咨询电话:：暂无（请说明信息源自“中冶有色技术网”）
更新时间：2022-01-07
级别：已认证

FPGA数字式MF/DC溅射电源说明介绍

电源功率等级00W-200Kw  定制特种电源(电压:0-10kv)

1.直流溅射电源  DC sputtering power supply

2.直流脉沖溅射电源  DC pulse sputtering power supply

3.中频磁控溅射电源  Medium frequency magnetron sputtering power supply

4.单极脉冲  Single pole pulse bias power supply

5.双极脉冲偏压电源  Bipolar pulse bias power supply

6.高压双极清洗电源  high voltage bipolar cleaning power supply

7.维修  Maintenance TRUMRF& AE ADL

8.水处理电源  Water Treatment Power supply

9.可编程直流稳压电源  DC power suply


主回路拓扑采用PFC+SiC组成全桥构架 结合DSP+FPGA数字控制技术

恒功率/恒流/恒压模式切换恒功率模式更能保证镀膜工艺的重复性

内置Arc10us-100us时间设置适应不同工艺及靶材Arc显示计数及电源工作状态查询

同时检测∨-Arc&丨-Arc高速切断输出，同时启动内置专利技术消除残余Arc能量，避免阴极及基片产生Arc放电，确保高精膜层

超宽的负载匹配能力，系列电源输出电压100V-10000V 电流500mA-300A

一流的可靠设计，目前市场上已有上万台1-120Kw电源在Low-E镀膜玻璃生产线及PVD镀膜设备上24H稳定运行

主动操作面板，通讯接口配置模拟量、 Profibus、RS485及英国 GENCOA Speedflo控制器专用端口

灭弧性能好，洗靶速度快，功率密度高，转换效率髙，相比老式可控硅变压器电源节能25-30%以上



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