权利要求书： 1.一种扫描电子显微镜样品防撞系统，其特征在于，包括：激光束发射模块、CCD探测模块、信号处理系统、运动控制反馈系统和控制中心；
所述激光束发射模块安装于扫描电子显微镜样品室的侧壁上，用来发射激光束；
所述CCD探测模块安装于与所述激光束发射模块相对的样品室侧壁上，用来对所述激光束发射模块发射的激光束穿过样品室后进行接收；
所述信号处理系统对所述CCD探测模块的信号进行分析，判断样品是否超出激光束限制高度；
所述运动控制反馈系统根据所述信号处理系统的判断结果，控制承载样品的样品台进行下一步动作；
所述控制中心对整个系统进行控制，使其能够协调运转。
2.根据权利要求1所述扫描电子显微镜样品防撞系统，其特征在于，所述扫描电子显微镜样品防撞系统包括一激光束发射模块，所述激光束发射模块安装于样品室侧壁上，所述激光束发射模块发射一激光束，所述激光束穿过样品室侧壁上的真空窗进入样品室内。
3.根据权利要求1所述扫描电子显微镜样品防撞系统，其特征在于，所述CCD探测模块安装于与所述激光束发射模块相对的样品室另一侧壁上，所述激光束通过样品室侧壁上的真空窗照射到所述CCD探测模块的探测面上。
4.根据权利要求1所述扫描电子显微镜样品防撞系统，其特征在于，所述信号处理系统对所述CCD探测模块的信号进行处理，判断样品是否超出激光束限位高度。
5.根据权利要求1所述扫描电子显微镜样品防撞系统，其特征在于，所述运动控制反馈系统对所述信号处理系统的结果进行反馈控制，控制样品台进行下一步动作。
6.根据权利要求2所述扫描电子显微镜样品防撞系统，其特征在于，所述激光束发射模块用于产生一扫描式激光束，所述能够产生扫描式激光束的激光束发射模块包括：模块外壳、激光二极管、固定式反射镜、振动式反射镜，激光束出射窗口；所述模块外壳用来承载激光束发射模块内部组件，所述激光二极管用来产生一激光束，所述固定式反射镜对所述激光束进行第一次反射，所述振动式反射镜对经过第一反射镜反射的激光束进行第二次反射，形成一往复扫描式激光束，所述激光束经所述激光束出射窗口射出。
7.根据权利要求2所述扫描电子显微镜样品防撞系统，其特征在于，所述激光束发射模块用于产生一一字线激光束，所述能够产生一字线激光束的发射模块包括：模块外壳、发光模组、棱
声明：
“扫描电子显微镜样品防撞系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：华研芯测半导体(苏州)有限公司
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2025年05月16日 ~ 18日 
