本申请涉及半导体光电探测器领域,尤其涉及一种
钙钛矿X射线探测器的封装面板及其制备方法;钙钛矿材料层,铝膜层,以及薄膜层,铝膜层设置于钙钛矿材料层与薄膜层之间,且与钙钛矿材料层和薄膜层相邻设置;其中,薄膜层为含硅元素的一个或多个无机薄膜层;所述方法包括:对基板的表面进行TFT驱动器件成型,再在成型的TFT驱动器件表面进行钙钛矿材料层成型,得到功能单元;在功能单元中钙钛矿材料层的表面贴封铝膜层,后在铝膜层表面上沉积第一无机薄膜层和第二无机薄膜层,得到含防水氧结构的封装面板;通过铝膜层和薄膜层,避免水氧环境对钙钛矿层材料的侵蚀,起到有效封装。
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