本实用新型提供了一种在蔡司EVO60扫描电镜上用于叶片检测的装置,包括凹槽夹具、宽度垫片、高度垫片;所述凹槽夹具是截面为U形的条状块,凹槽夹具的两侧垂直板上设置有多个定位螺孔;所述凹槽夹具内底部水平放置有高度垫片,垂直放置有宽度垫片;所述宽度垫片、高度垫片和凹槽夹具长度相同,宽度垫片、高度垫片的厚度小于凹槽夹具任意一块板的厚度。本实用新型能有效实现对叶片的无损伤检测,避免对叶片进行切割,从而避免对伪缺陷叶片造成损伤,由此降低生产制造成本;便于操作,工作效率高,检测质量好。
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