本发明涉及弱磁场检测技术领域，尤其涉及一种弱磁场检测装置及其制备方法。
背景技术：
在磁场检测技术领域,从磁场强度角度上大体可分为弱磁场、强磁场和甚强磁场三大类,其中关于弱磁场的检测技术在很大程度上代表了国家磁场技术发展水平。在科学研究、国防建设、工业生产、日常生活领域，弱磁场的测量常常起着决定性作用，作为一种测量手段，弱磁测量技术在相关领域起着越来越重要的作用。弱磁场检测技术的发展与应用成为人们密切关切的问题之一。弱磁场的检测和应用的领域十分广泛。比如：弱磁场的检测技术常用于地磁常规和地震预兆检测；航磁地磁测量和宇航工程的磁场测量，使用的都是弱磁场技术；军事上舰艇的消磁、鱼雷的的制导和卫星测距等都需要用到弱磁场技术；高精度的测磁仪器是地面磁法探矿的主要设备，但环境磁场对这些仪器的影响很大，在使用仪器之前，需要对周围环境磁场进行检测；弱磁技术也可应用于地磁卫星、月球磁场以及对金星、水星等外层空间磁场的探测，对天体磁场的研究有很大意义；现代弱磁技术在生物工程和医疗器械方面更是有重要的应用,如：核磁共振ct、肺磁诊断仪、胃磁诊断仪等。弱磁技术是当今高新技术的一个热点,它的发展前景广阔。
在弱磁场检测技术中，传感器是信号采集检测的基础。随着磁传感器技术的发展，磁传感器灵敏度越来越高，本底噪声越来越小。当前用于弱小磁场检测的传感器主要有感应线圈、霍尔元件、各向异性磁敏电阻(anisotropicmagnetoresistance，amr)、巨磁电阻(giantmagnetoresistance，gmr)、磁通门探头以及隧道磁敏电阻(tunnelmagnetoresistance，tmr)等。以下表1为各种传感器的技术参数对比：
表1磁传感器技术参数
感应线圈具有大量程、高精度、制作成本低等特点，在涡流检测、漏磁检测中应用十分普遍，但其测量的是磁感应强度的变化率，必须处在变化的磁场中或在磁场中运动才能工作，不能探测静态和缓慢变化的磁场，对低频交变的检测灵敏度低。霍尔传感器可直接测量磁场强度值的变化；在低频时也具有良好的响应能力，可测量10-7～10t的恒定磁场，也可测量频率10hz～100mhz、磁感应强度5t的交变磁场，以及脉冲持续时间为几十微秒的脉冲磁场，但其功耗大、线性度差。amr元件虽然灵敏度比霍尔元件高很多，但其线性范围窄；同时，以amr为敏感元件的磁
声明：
“弱磁场检测装置及其制备方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：北京蓝玛星际科技有限公司
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2025年05月16日 ~ 18日 
