东方钽业成功研发纯度达到5N9级别的超高纯钽靶坯,填补了国内在该领域的技术空白。这项突破改变了我国超高纯钽靶材完全依赖进口的局面,为半导体产业链自主可控提供了关键材料支撑。
超高纯钽靶材是半导体制造过程中的核心材料,主要应用于
芯片制造的物理气相沉积工艺。此前,这类高纯度靶材产品长期被国外少数企业垄断,成为制约我国半导体产业发展的重要瓶颈。东方钽业通过自主研发,掌握了从原材料提纯到靶材成型的全套工艺技术。
技术突破主要体现在三个关键环节。在钽粉提纯方面,企业开发出新型提纯工艺,可将钽粉纯度提升至99.9999%,达到5N9级标准。针对大尺寸靶坯成型的技术难题,研发团队创新性地解决了材料致密度和均匀性问题,成功制备出符合半导体制造要求的大尺寸靶坯。
智能化生产系统是保障产品质量稳定性的重要支撑。企业引入MES制造执行系统,实现生产过程的全流程数字化管控。该系统可实时监控关键工艺参数,确保每批次产品性能的一致性。这种智能化生产方式极大提高了生产效率和产品良率。
在应用领域,5N9超高纯钽靶材已进入半导体制造产业链。产品性能经下游客户验证,完全满足先进制程芯片的制造要求。除半导体领域外,该材料还应用于航空航天等高端制造领域,展现出广阔的市场前景。
企业依托完整的产业链优势,形成了从钽铌矿石冶炼到高端制品加工的垂直整合能力。这种全产业链布局不仅保障了原材料供应安全,还为技术创新提供了坚实基础。随着产品技术持续升级,东方钽业正在推进12英寸钽靶材的国产化替代工作。
市场环境方面,全球半导体产业复苏带动了钽靶材需求增长。特别是在人工智能、5G通信等新兴技术的推动下,高性能计算芯片需求持续增加,为高纯钽靶材创造了更大的市场空间。东方钽业抓住这一机遇,积极扩大产能,提升市场供应能力。
技术研发体系是企业持续创新的保障。东方钽业建设了国家级科研平台,构建起从基础研究到产业应用的完整创新链条。这套体系有效促进了技术成果转化,加速了新产品开发进程。未来,企业将继续加大研发投入,保持在钽铌材料领域的技术领先优势。
在全球产业布局方面,东方钽业正积极拓展海外资源渠道,优化原材料供应网络。同时加强与下游客户的战略合作,推动钽靶材在更广领域的应用。这些举措将进一步提升企业在全球钽铌行业的影响力,巩固市场领先地位。
随着我国半导体产业自主化进程加速,关键材料的国产替代需求日益迫切。东方钽业超高纯钽靶材的成功研发,不仅解决了产业链"卡脖子"问题,也为其他关键材料的自主创新提供了有益借鉴。未来,随着技术持续进步和产能逐步释放,我国在
高纯金属材料领域将取得更多突破。