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超导量子磁控溅射系统

超导量子磁控溅射系统

255
规格/型号：德仪天力
品牌：DE500DL
应用领域：材料制备
产地：北京 - 北京
厂家/供应商：北京德仪天力科技发展有限公司
咨询电话:：010-67832716/17（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-04-01
级别：待认证

超导量子磁控溅射系统说明介绍

超导量子磁控溅射系统

DE500DL超导量子磁控溅射系统配备多个磁控溅射源，可沉积金属、半导体、介质材料. 可用于溅射多层薄膜、共溅合金薄膜、反应溅射、LIFT-OFF工艺薄膜、隧道结薄膜等。是材料和薄膜沉积研发和中试的理想平台。

特点

溅射距离可调

PID下游和上游压力控制

良好的薄膜均匀性和重复性

安全互锁保护

PLC和工控全自动控制

可选离子束清洗或辅助沉积

可选RF等离子体清洗

主要配置

镀膜腔室 不锈钢腔体

真空泵 分子泵(或冷凝泵)和干泵

真空阀门 高真空插板阀门

真空测量 宽量程真空计

溅射源 多个溅射源，直流、脉冲直流、射频电源

样品台 样品台旋转加热或冷却

气体和压力控制 多路气体配流量计、PID控制压力控制

预真空样品室 单基片或多基片装载能力、全自动送样

主要技术指标

镀膜腔室极限真空度 优于9E-9Torr

基片尺寸 可选：2英寸、4英寸、6英寸

基片加热和冷却  可加热至900℃和冷却至-50℃，基片可自转

膜厚均匀性 优于+/-3%
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标签：
超导量子磁控溅射系统
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北京德仪天力科技发展有限公司
企业认证：
  
所属领域：
材料制备
企业性质：
-
经营范围：
-
联系电话：
010-67832716/17
详细地址：
-

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