工作原理:
基于氦气分子在真空中的扩散特性:通过向被检工件充入氦气,利用分子泵与机械泵构建的真空系统将泄漏的氦气吸入质谱室,氦离子在180°非均匀磁场中实现精确分离,经美国AD放大器增强信号后,通过光电倍增管转化为可量化的漏率数据。
应用范围:
该设备广泛应用于航空航天、半导体制造、核电及科研领域。
产品技术参数:
设备漏率显示范围覆盖1×10⁻³至1×10⁻¹²Pa·m³/s,响应时间≤0.5秒,启动时间≤3分钟,检漏口最高耐压达1500Pa。配备德国进口分子泵与3L/s抽速机械泵,极限压强可达5×10⁻⁴Pa。设备采用550×450×880mm标准机箱设计,重量60kg,支持220V/50Hz电源输入,工作温度范围5-45℃。
产品特点:
1. 搭载台达7英寸全液晶触摸彩屏,支持中英文界面切换;
2. 内置自动校准程序与标准漏孔,检测精度误差≤±5%;
3. 离子源灯丝提供3年质保,整机故障率低于0.3%;
4. 支持USB/RS232数据传输,可生成符合ASTM E498标准的检测报告。