工作原理:
基于微焦点X射线管技术,通过高压发生器加速电子束撞击金属靶材(如钨靶),产生高能X射线束。X射线穿透被测工件后,由数字化平板探测器接收并转化为电信号,经16位实时图像处理系统生成高分辨率灰度图像。
应用范围:
覆盖SMT、半导体、IGBT模块及微型机电系统(MEMS)等领域。
产品技术参数:
设备采用开放式X射线管,电压范围25-160kV,管电流0.01-1.0mA,最大几何放大倍数2000倍,总放大倍数可达10000倍。载物台支持X/Y轴移动、探测器倾斜(±70°)及射线管上下调节,最大检测尺寸440×550mm。系统配备1276×1276像素的高灵敏度平板探测器,辐射剂量<1μSv/h,符合全球辐射安全标准。
产品特点:
突出高效性与智能化。设备采用一键操作模式,支持“点击&居中”“框选&放大”等快捷功能,单次检测耗时仅数秒。搭载的FF CT软件可实现快速三维重建,生成高真实感可视化图像。可选配的ORYX 1616探测器将视场面积扩大50%,结合VoidInspect自动气泡计算功能,显著提升检测效率。