工作原理:
该仪器采用三模态复合检测技术:
磁感应原理:基于电磁感应定律,通过探头与铁磁性基材(如钢、铁)间的磁阻变化,测量非磁性涂层(如漆、氧化层)厚度,分辨率达0.1μm;
涡流原理:利用高频电磁场在导电基材(如铜、铝)表面产生的涡流效应,测量非导电涂层(如塑料、橡胶)厚度,支持0.5μm级精度;
X射线荧光技术:通过微聚焦X射线管激发涂层元素特征X射线,结合EFP算法解析多层镀层厚度及成分,最小检测面积0.003mm²,可穿透复杂结构实现三维建模。
应用范围:
产品覆盖半导体、航空航天、精密电子及新能源领域。
产品技术参数:
测量范围:0.005-100μm(X射线模式),0.1-2000μm(磁感应/涡流模式);
精度:±(0.5%读值+0.01μm)(X射线模式),±(1%读值+0.1μm)(磁感应/涡流模式);
分辨率:0.001μm(X射线模式),0.1μm(磁感应/涡流模式);
探测器:硅漂移探测器(SDD),能量分辨率140eV;
数据接口:USB 3.0/以太网,支持实时数据传输与远程校准;
防护等级:IP65,适应-10℃至50℃工业环境。
产品特点:
纳米级精度:三模态复合技术覆盖0.005-2000μm全量程,满足从超薄镀层到厚涂层的检测需求;
智能化分析:内置多层镀层解析算法,可区分同元素不同层结构(如铜/镍/金多层镀层);
便携设计:主机重量2.3kg,支持手持与台式双模式,适应实验室与生产线快速切换;
防尘防腐蚀:采用军用级密封结构,通过盐雾试验与粉尘测试,确保复杂工况稳定性。