MPS-10X型多功能型探针台
产品简介 :
在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试得探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧,功能实用,成本较低得简易式探针台,
MPS-10X型多功能型探针台在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;
在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试得探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧,功能实用,成本较低得简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;
主要技术指标:
结构紧凑,功能实用,价格实惠
最大可用于12寸以内样品测试
兼容高倍率电子显微镜,可360°旋转和微调升降
漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)
精密丝杠/燕尾传动结构,线性移动,无回程差设计
应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
1微米以上电极/PAD使用
模块化设计,可以根据应用增加和去除相应模块
技术参数选型: