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纳米压痕仪

纳米压痕仪

359
规格/型号：iMicro
品牌：KLA
应用领域：检测设备
产地：上海 - 上海
厂家/供应商：KLA Instruments™
咨询电话:：21-38178412（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-06-12
级别：待认证

纳米压痕仪说明介绍

iMicro纳米压痕仪

iMicro纳米压痕仪


iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬质涂层、薄膜和小尺寸材料等。其准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度测试、划痕和纳米级万能试验等多种纳米力学测试。作动器易于更换，能够提供大范围的动态载荷和位移，对于从软质聚合物到硬质金属/陶瓷等材料，均可以进行准确而可重复的测试。模块化的功能选项可以适配各种应用：材料力学特性图谱、频率相关特性测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iMicro提供一整套的扩展功能选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D材料力学性能成像、Gemini 2D作动器用于摩擦学和其它双轴力学测量。

产品描述

iMicro 纳米压痕仪标配InForce 1000作动器，用于进行纳米压痕和万能纳米力学试验，并可选配InForce 50作动器用于测试较软的材料。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iMicro是一款紧凑型测试平台，其箱体中内置高速InQuest控制器和隔振框架。各种不同的材料和器件均可以进行测试，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等。

产品特色

InForce 1000作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换

InForce 50作动器选件，提供最大50mN的法向力，可用于测量较软的材料；Gemini 2D作动器选件，可实现两个方向的动态测量独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准

InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µs

XY运动系统以及易于安装的磁性样品台

高刚度框架，且集成隔振功能

集成显微镜，数字变焦，可实现精确的压痕定位

符合ISO 14577等标准的测试方法

InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在线培训和InView移动应用程序

产品应用

硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）

快速材料力学性能成像

ISO 14577 硬度测试

聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量

定量的划痕和磨损测试

高温纳米压痕测试

适用行业

大学、科研实验室和研究所

半导体与封装产业

PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN）

MEMS：微机电系统/万能纳米力学试验

陶瓷与玻璃

金属与合金

制药

涂层 涂料

复合材料

电池与储能

汽车与航空航天

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标签：
纳米压痕仪 检测设备
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