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华东	上海上海保税区江苏南京无锡徐州常州苏州南通连云港淮安盐城扬州镇江泰州宿迁南京港宜兴浙江杭州宁波温州绍兴湖州嘉兴金华衢州台州丽水舟山安徽合肥芜湖蚌埠淮南马鞍山淮北铜陵安庆黄山阜阳宿州滁州六安宣城池州亳州福建福州厦门漳州泉州三明莆田南平龙岩宁德江西南昌九江上饶抚州宜春吉安赣州景德镇萍乡新余鹰潭山东济南青岛淄博枣庄东营烟台潍坊济宁泰安威海日照滨州德州聊城临沂菏泽莱州港龙口港黄岛前湾港董家口港日照港青岛港威海港烟台港邹平莱芜
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光学轮廓仪

347

规格/型号：Filmetrics® Profilm3D®

品牌：KLA

应用领域：检测设备

产地：上海 - 上海

厂家/供应商：KLA Instruments™

咨询电话:：21-38178412（请说明信息源自“中冶有色网”）

更新时间：2025-06-12

级别：待认证

光学轮廓仪说明介绍

Filmetrics® Profilm3D®光学轮廓仪

Profilm3D®和 Profilm3D-200 光学轮廓仪经济实惠，是一套非接触式基于白光干涉法的3D表面形貌测量系统。最新一代的白光干涉仪拥有新的成像模式，性能和价值得到了大幅提升。Profilm3D 系列通过简单、灵活的程式设置测量纳米级至毫米级表面，可进行单次扫描或在多个点位自动测量，来支持研发和生产环境。

产品说明

Filmetrics Profilm3D 和 Filmetrics Profilm3D-200 白光干涉仪能够高分辨率地测量亚纳米级分辨率的表面形貌。这些机台支持垂直扫描和相移干涉测量法。Profilm3D 采用TotalFocus™ 技术，可以产生令人惊叹的 3D 自然彩色图像，每个像素都处于聚焦状态。最新一代的 Profilm3D 引入了加强版粗糙度成像技术，可用于测量更粗糙的表面、更高的斜率以及更低的反射率表面。

在 Profilm3D 测量技术中，测量的垂直分辨率不依赖于物镜的数值孔径，能够同时以大视场进行高分辨率的测量。通过将多个视场拼接到单次测量中，可以进一步增大测量区域。Profilm3D 还具有简单、创新的用户界面和自动化功能，支持从研发到生产的各种工作环境。

我们的 Profilm® 软件包采用先进的基于云的 ProfilmOnline® 网络服务、 Android 和 iOS 的移动应用程序以及高级 Profilm 桌面软件，可提供灵活的数据存储、可视化功能以及分析解决方案。

特征

垂直扫描和相移干涉测量法用于测量纳米级到毫米级的表面特征

TotalFocus 3D成像技术对整个测量范围内的每个像素的聚焦能力都进行了优化

真彩色成像可生成实际的样品颜色，增强可视化效果，尤其是对于细小或埋藏的特征

粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹的对比度，从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度，并改善了粗糙表面上的信噪比

该自动对焦功能具有行业领先的长压电行程范围，可扫描高度相隔甚远的多个表面

具有长行程范围的自动化 X-Y 样品台，非常适合分布测绘和拼接扫描

使用简便的软件包带有高级 Profilm 桌面、基于云的 ProfilmOnline 和移动应用程序，可用于灵活的数据存储、可视化功能以及分析。

应用

台阶高度：从纳米级到毫米级的 3D 台阶高度