设备介绍
KJ-1200T-S6015LK1-H系列快速退火炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。为取得最快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/min,是低成本快速热处理的理想炉子。
适用范围
退火炉是一款精巧型快速热处理管式炉, 是CVD法生长大尺寸二维
石墨烯的常用设备,它是专为半导体或
太阳能电池基片的退火而设计,计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线。可在真空不同气氛空气不同环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
产品优势
双层壳体 安全防烫
节能型的陶瓷纤维材料和双层结构,可将外表温度降到常温
炉管材质可选
炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料
可快速加热和冷却
炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率最大可达100°C/m
红外灯管加热 升温速率快
采用红外灯管加热,最快升温速度为 50°C/秒
气密性好 可重复拆卸
该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封,可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转
智能控温 带安全预警
30段PID微电脑可编程自动控制,具有超温和断偶保护功能
技术参数
产品名称 单管滑动式快速退火炉
产品型号 KJ-1200T-S6015LK1-H
炉管尺寸
Φ60mmX1500mm(其他尺寸可根据客户需求定制)
温区长度
440mm(其他尺寸可根据客户需求定制)
工作温度
≤1100℃
最高温度
1200℃
温控系统
30段PID微电脑可编程自动控制(用户可选配液晶触摸屏显示)
控温精度
±1℃
温控保护
具有超温和断偶保护功能
加热速率
0~10℃/min
加热元件
电阻丝
气 密 性 4.03×10-3Pa
炉膛材料
采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强
滑轨尺寸 镀Cr厚钢板做的双向滑轨滑动长度:1200mm(其他尺寸可根据客户需求定制)
法兰接头
标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀。
密封系统
该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。
炉 管 可选气炼石英炉管、刚玉炉管
测温元件
N型热电偶测温
售后服务 12个月质保、终身保修