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大平台晶圆半导体检查显微镜

大平台晶圆半导体检查显微镜

343
规格/型号:MX8R
品牌:蕴科
应用领域:检测设备
产地:江苏 - 苏州
厂家/供应商:昆山蕴科机电科技有限公司
咨询电话::13773196922(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-06-17
级别:待认证

大平台晶圆半导体检查显微镜说明介绍

MX8R大平台晶圆半导体检查显微镜

MX8R大平台晶圆半导体检查显微镜-SOPTOP-


商品说明

MX8R各项操作根据人机工程学设计,最大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。

无限远铰链三通观察头

ETTR 型正像铰链三目观察头,所成像的方位与物体实际方位一致,物体移动的方向跟像面移动的方向相同,便于使用者观察与操作。

长工作距金相物镜

全新设计的长工作距物镜,采用半复消色差技术,其使用的多层宽带镀膜技术,使整个视场内的成像清晰锐利,色彩自然,明亮舒适。长工作距设计,50X 物镜的有效工作距离 7.9mm,100X 物镜的有效工作距离也达到了 2.1mm,更有20X 超长工作距金相物镜,大幅拓展了 MX 机型的应用领域。同步设计了全套明暗场两用物镜,适用于MX8R 机型,暗场照明亮度比传统暗场物镜提高 2 倍以上。

高性能物镜转换器

MX 机型的转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制,根据 MX 系列机型配置及功能的不同,可以选择不同型号的转换器。

明暗场反射照明器

带可变孔径光阑,视场光阑,中心均可调 ;带明暗场照明切换装置,适用于MX8R/MX8RT机型。

丰富的观察方式,满足您的检测需求

明场观察:远心柯拉反射照明系统,配以全新设计的无限远长工作距平场消色差金相物镜,从低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高画质显微图像。

暗场观察:将暗场照明拉杆拉到指定位置,即可使用暗场功能,可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他细微缺陷。内置衰减片,减少明暗场切换时光线剧烈变换对眼睛的刺激。

简易偏光观察:将起偏镜及检偏镜插板插入照明器的指定位置,即可进行简易偏光观察。检偏镜可分为固定式和 360°旋转式两种。

DIC 微分干涉观察:在正交偏光的基础上 , 插入 DIC 棱镜,即可进行 DIC 微分干涉观察。使用 DIC 技术 , 可以使样品表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,极大的提高图像的对比度。可匹配带 DIC 功能的物镜,使整个视场的干涉色一致,微分干涉效果非常出色 , 高倍物镜 DIC 效果也较好。

附件: 摄影 / 摄像附件:在三目观察筒上,可以配接摄影摄像装置,将双目观察到的图像输出至监视器或计算机,进行图像分析、处理、保存或传送。使用专用的 C 接口与中继镜,可以和数码相机联接,快速进行拍照,并获取图像。

多种干涉滤色片可选:   使用 12V100W 卤素灯时照明时,可以选择 LBD 日光型滤色片,能将光线过滤成自然日光的颜色,图像背景柔和亮白。根据具体工业检测的需要,可以选择其他颜色的滤光片来对光线光谱进行调节,以获得最好的图像效果。

商品参数

型号:MX8RMX8RT

放大倍率:50X、100X、200X、500X

光学系统:无限远色差校正光学系统

目镜:高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm

物镜:LMPL-BD无限远长工作距明暗场金相物镜(5X-DIC、10X-DIC、20X-DIC、50X)

观察筒:25° 倾斜, 正像,无限远铰链式三目观察筒,分光比双目:三目= 50:50或100:0

转换器:内倾式明暗场五孔转换器,带DIC 插槽

镜体:粗微调同轴,粗调行程33mm,微调精度0.001mm, 带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置100- 240V 宽电压变压器,单路电源输出粗微调同轴,粗调行程33mm,微调精度0.001mm, 带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置100-240V 宽电压变压器,双路电源输出

载物台:8" 三层机械移动平台,行程203×203mm,玻璃工作台,右手位X、Y 移动手轮,带离合器手柄, 可快速移动8" 三层机械移动平台,反射行程203×203mm,透射行程:158×158mm,玻璃工作台,右手位X、Y 移动手轮,带离合器手柄,可快速移动

反射照明系统:带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤色片插槽与偏光装置插槽;带明暗场切换机构,预置中心,采用数字调光,具有光强设定与复位功能带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤色片插槽与偏光装置插槽;带明暗场切换机构,预置中心,光强连续可调

透射照明系统:单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调。N.A.0.5 聚光镜,带可变孔径光阑

偏光装置:起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板

摄像附件:0.5X摄像接筒,C 型接口,可调焦(与正像三目观察筒配套使用)

选配件

目镜:高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm,视度可调,可带测微尺

高眼点大视野平场目镜:PL15X/16mm

物镜:无限远长工作距明暗场金相物镜(100X)

观察筒:30° 倾斜, 倒像,无限远铰链式三目观察筒,分光比双目:三目= 50:50或100:0

载物台:4" 双层机械移动平台,行程105×105mm,带金属平板平台,右手位X、Y 移动手轮,配平台接口4" 双层机械移动平台,行程105×105mm,带玻璃平台,右手位X、Y 移动手轮,配平台接口

摄像接口:1X摄像接筒,C 型接口,可调焦(与正像三目观察筒配套使用)

滤色片:反射用干涉滤色片

其他:DIC微分干涉组件



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