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高真空溅射镀膜仪

高真空溅射镀膜仪

329
规格/型号:Leica EM SCD500
品牌:纳腾
应用领域:加工设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:上海纳腾仪器有限公司
咨询电话::02164283335(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-07-08
级别:待认证

高真空溅射镀膜仪说明介绍

高真空溅射镀膜仪 Leica EM SCD500

高真空溅射镀膜仪 Leica EM SCD500


Leica EM SCD500高真空溅射镀膜仪是一款无油高真空系统,专为FE-SEM观察前的样品镀膜、TEM/EDX喷涂以及多层膜样品制备设计。它具备多种功能,包括金属溅射镀膜、辉光放电、蚀刻(样品清洁)、碳丝蒸发镀膜、碳棒蒸发镀膜、金属热阻蒸发镀膜,还可选配液氮冷台(适配EM VCT100)。设备配备金属靶档板,适用于特殊溅射靶材的预溅射,确保镀膜纯度。可选配石英膜厚监控器,实现程序化控制膜厚并反馈镀膜仪。样品室尺寸有标配Ø106mm和选配Ø205mm(可容纳wafer 152mm/6"圆形或127mm/5"方形)两种规格。操作简单,带有LED指示,机身印有操作说明。

无油高真空系统,适合FE-SEM观察前样品镀膜机TEM/EDX喷涂要求;也可应用于制备多层膜样品

*功能:金属溅射镀膜/辉光放电/蚀刻(样品清洁)/碳丝蒸发镀膜/碳棒蒸发镀膜/金属热阻蒸发镀膜/加装液氮冷台(适配EM VCT100)

*带有金属靶档板,适用于特殊溅射靶材的预溅射,确保镀膜纯度

*可选配石英膜厚监控器,可程序化控制膜厚,并反馈镀膜仪

*样品室尺寸:标配Ø106mm,选配Ø205mm(可容纳wafer 152mm/6"圆形或127mm/5"方形)

*操作简单,带有LED指示,机身印有操作说明
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