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全自动缺陷检测原子力显微镜

全自动缺陷检测原子力显微镜

428
规格/型号:NX-HDM
品牌:纳腾
应用领域:检测设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:上海纳腾仪器有限公司
咨询电话::02164283335(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-07-08
级别:待认证

全自动缺陷检测原子力显微镜说明介绍

NX-HDM全自动缺陷检测原子力显微镜

NX-HDM全自动缺陷检测原子力显微镜


简介

对于工程师来说,识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程,ParkNX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别,通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率,越来越多的行业需要超平的介质和基板来满足不断缩小的设备需求,ParkNX-HDM原子力显微镜系统具有业界低0.5埃噪音,并将与其真正的非接触式模式相结合实现亚埃级表面粗糙度的测试。

主要功能

1)快速自动缺陷检测功能

2)亚埃级表面粗糙度的测量

3)有小的热漂移,自动分析测量的数据

4)在线监测测试过程,

应用

自动检测缺陷

相关文献

Foucher;RTherese;Y.Lee;S.-I.Park;S-J.Proc.SPIE8681,Metrology,Inspection,andProcessControlforMicrolithographyXXVII,868106(April18,2013);doi:10.1117/12.2011463
NX-HDM全自动缺陷检测原子力显微镜
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