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实验型氧化扩散炉

实验型氧化扩散炉

271
规格/型号：KJ150-XK
品牌：鸿炉机械
应用领域：材料制备
产地：河南 - 郑州
厂家/供应商：河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话:：17737149370（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-07-24
级别：待认证

实验型氧化扩散炉说明介绍

实验型氧化扩散炉

设备介绍

郑州科佳KJ150-XK是一款管式扩散氧化炉，适用于企业研发、大学及科研院所的科研与教学。可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺。

产品特点

1、可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺

2、采用高可靠性工控机+PLC模式，对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化;

3、具有友好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态;

4、具有多种工艺管路，可供用户方便选择;

5、具有强大的软件功能，配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间;

6、恒温区自动调整，串级控制，可准确控制反应管的实际工艺温度;

7、具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能;

8、可根据用户要求定制产品。

产品优势

工艺过程自动化

采用高可靠性工控机+PLC模式，对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化

多段智能PID程序控温

控温系统采用PID方式调节，多段"时间—温度曲线"任意可设，可编程30步

操作简单快捷

具有友好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态

技术参数

实验型氧化扩散炉

产品型号 KJ150-XK

工作温度 ≦1300℃

应用晶片尺寸 2~8英寸圆片(更多规格可按需求定制)

可配工艺管数量 1~2管/台

温度变化速率 最大升温速率10℃/min，最大降温速率5℃/min

安全预警 具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能
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标签：
实验型氧化扩散炉 氧化扩散炉
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企业认证：
  
所属领域：
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17737149370
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