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四路高温真空CVD设备

四路高温真空CVD设备

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规格/型号:KJ-T1200-S60K-4C
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::17737149370(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-07-24
级别:待认证

四路高温真空CVD设备说明介绍

四路高温真空CVD设备

设备介绍

KJ-T1200-S60K-4C型四路高温真空CVD设备由KJ-T1200滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1200度,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计,可以对多种气体进行准确的混气,然后导入到管式炉内部。快速退火炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加为取得最快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端,是低成本快速热处理的理想炉子。

产品优势

可快速加热和降温

炉底安装一对滑轨,可用手动滑动,是低成本快速热处理的理想炉子

三温区独立控温

三温区独立控温,可以在加热区内形成温度梯度或是形成较长的恒温区域

智能PID多段程序控温

控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

技术参数

产品名称 四路高温真空CVD设备

产品型号 KJ-T1200-S60K-4C

工作温度 ≤1100°C

最高温度 1200°C

加热速率 建议:0- 10°C/min

加热区 三温区

加热区长度 200+350+200mm

(其他尺寸可根据客户需求定制)

控温精度 ±1°C

炉管直径 直径60mm,长度约1200mm-1400mm

(其他尺寸可根据客户需求定制)

真空法兰 两个不锈钢密封法兰,法兰上已经安装数字式真空显示计,和阀门通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr,泄漏率可达6 mtorr/min

温控 智能PID多段程序控温

加热曲线 30段可编程

质子流量计 4路精密质子流量计:数字显示、气体流量自动控制。

MFC 1范围: 0~100 sccm

MFC 2范围: 0~200 sccm

MFC 3范围: 0~200 sccm

MFC 4范围: 0~500 sccm

气路:4路

流量精度: 0.2%

进气和出气接口: 1/4" 卡套

一个混气罐。

每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。

通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。
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