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主要配置 |
技术参数 |
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机械泵 |
抽气速率：10m³/h 容油量：1.1L 电机功率：400W 极限压强：6×10-2Pa |
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分子泵 |
抽气速率：100L/S 极限压强：6×10-6Pa 额定转速（rpm)：4300； 环境温度5-32℃时分冷，5-40℃时看水冷。 电压：220V±22V
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复合真空计 |
测量路数：2路（电阻规、电离规各1路） 工作模式：手动/自动 电阻单元参数 规管型号：ZJ-52T电阻规 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离单元参数 规管型号：ZJ-27电离规 可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管除气方式：焦耳去气 其他参数 控制精度：±1% 采样时间：1S 电源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用环境温度：0℃~45℃ 湿度：≤85% |
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连接管路 |
采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s |
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