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1093 ◆工业计算机控制系统，对炉温、进出料、气体流量等动作进行自动控制
◆关键部件均采用优质配件，确保设备的高可靠性
◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染（管路均采用EP级电抛光管），流量控制采用优质流量计（MFC）控制
◆工作压力闭环自动控制，提高工艺稳定性和可靠性
◆控温精度高，温区控温稳定性好
◆具有断电报警、超温报警等多种安全保护功能
◆高质量的加热炉体，确保恒温区的高稳定性及长寿命
CVD主要技术指标：
一、温度控制系统
高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，适合于科研单位的材料工艺研究。有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小 电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预， 可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、 欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采 优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。
1、1200系列四温区管式炉
最高温度：1200℃
使用温度：≤1100℃
炉膛有效尺寸：Φ50mm
炉膛材料：1500型 氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型： K型热电偶（4个点) 。
控温精度：±1℃， 30段可编程控温，PID温度控制程序，四段控温（250+250+250+250mm），四段温度可设置相同，获得超长加热温区，也可以根据需要设定不同温度段，以满足不同的工艺要求。
加热元件：优质电阻丝
供电电源： 单相，220V，50HZ
2、1700系列双温区管式炉
最高温度：1700℃
使用温度：≤1600℃
炉膛有效尺寸：Φ50mm
炉膛材料： 1800型氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型： B型热电偶（2个点) 。
控温精度：±1℃， 30段可编程控温，PID温度控制程序，2段控温（200+200mm），两段温度可设置相同，获得较长加热温区，也可以根据需要设定不同温度段，以满足不同的工艺要求。
加热元件：优质硅钼棒
供电电源： 单相，220V，50HZ
二、气路控制系统：
气体流量控制器采用质量流量控制器，该控制方式具有控制精度高，稳定好，气体适应性强的特点。可以很大程度上提高控制精度，提高设备的重复性和稳定性。
重量：35Kg
连接头类型：双卡套不锈钢接头。
气体种类:3路.
标准量程（N2)： N2: 200、（具体量程需最终确认）
准确度：±1.5%
线性：±0.5～1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
最大压力：3MPa
接口：Φ6,
显示：4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管：Φ6
压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀：Φ6
三、收放轴系统及张力系统
收放轴位于炉体底部，走线滚轮位于炉体两侧，与法兰出丝位置同高，方便出丝走线，也便于操作，收放轴电机均通过伺服电机控制，速度可调，控制精度高，收线电机为双电机控制，可以控制收线轴横向移动，可实现均匀收线。
系统安装有两个张力计，在热处理过程中实现不同张力条件
收卷单元：伺服电机+PLC
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