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名称 |
规格 |
单温区真空管式炉CVD系统 CVD1200C 440D60 2ZLV |
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单温区真空管式炉 |
炉管尺寸 |
Φ60×1000mm 更多其他规格石英管可选（Φ50/60/80/100mm等） |
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主要参数 |
最高温度: 1200℃(使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变) 工作温度: 1100℃ 推荐升温速率:≤10℃/min 加热区长度: 400mm 额定功率：3KW 电压：单相AC 208 - 240V, 50Hz |
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炉体结构 |
双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C 高纯状氧化铝纤维绝缘层，最大限度节约能源 炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命 |
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温控系统 |
模糊PID控制和自整定调节功能 智能化30段可编程控制 具有超温及断偶报警功能 控温精度: ±1 ℃ K型热电偶 可安装PC控制软件对数据进行实时采集（需另购） |
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温控仪表（可选） |
标配仪表品牌为宇电，可指定其他品牌温控仪表，如岛电等。 |
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管堵 |
多种规格管堵，防止来自内部管子的热辐射，管堵在加热前必须完全放入炉腔。石英管堵满足洁净实验环境或者较高真空需求 |
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密封系统 |
炉管两端配有不锈钢密封法兰。（包括精密针阀、指针式真空压力表、软管接头） 如需获得较高的真空度，建议采用不锈钢波纹管连接及数显真空计（需另外订购） 出气端配备磁流体密封装置，容许设备在连续真空条件下工作。 备注：本公司标配法规格如下进气端Φ6卡套接口，可连接Φ6不锈管或者聚四氟管。 出气端预留KF25接口，方便连接真空泵，KF16接口，方便连接数显真空计，以及Φ9气嘴接头，以便出气 |
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扩展端口 |
如进气管道为橡胶软管，则需将进气口更换成Φ9气嘴接头 |
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真空度 |
双极旋片机械泵：10^-1Pa 分子泵机组：10^-3 Pa 可选配本公司配套高低真空 |
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外形尺寸 |
650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H) |
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净重 |
40Kg |
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二路质量流量控制系统 MFC-2Z |
电压 |
220VAC 单相 50/60Hz |
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针阀材质 |
316不锈钢 |
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量程 |
50sccm、100sccm（可根据工艺要求提供多种量程选择） |
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工作温度 |
5～45℃ |
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外型尺寸 |
600(L) x 600(W) x 750(H) mm |
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电压 |
AC220V/50Hz单相 |
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功率 |
23W |
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真空系统 LVU-10 |
壳体尺寸 |
600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
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最大承载量 |
1000 Lbs |
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抽气速率 |
10m³/h 极限真空度：10-1Pa 双层立式油污过滤器(PE材质）与真空泵连接 |
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质保期 |
一年保修，终身技术支持。 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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相关应用 |
炉膛内衬可以单独更换（额外付费） 可以根据要求设计成带有滑动法兰的炉子 |
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应用注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等） |
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