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1556 技术规格
测量范围：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;
测量精度： +/- 1%；
重复度： 小于 0.2%；
样品图中无限量的测量点位，自定义测量Recipe，可线性、矩形、
较为坐标以及自定义等。
支持广泛的测量，包括但不限于以下各项：
金属膜厚度、基板厚度、方块电阻、电阻率、电导率、掺杂浓度等。
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中冶有色技术平台
山东 - 济南
2024年05月17日 ~ 19日
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