扫描电子显微镜多样品装载组合装置

277 编辑：中冶有色技术网来源：方达医药技术(苏州)有限公司

2024-05-16 14:09:02

权利要求书： 1.扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：包括样品基座(1)及插设于所述样品基座(1)上的样品台(2)，沿着所述样品台(2)边沿插设有多个样品支座(3)；

所述样品支座(3)的内端插入所述样品台(2)，所述样品支座(3)的上表面开设有竖向凹槽(31)，所述竖向凹槽(31)的一端穿出所述样品支座(3)的外端，所述样品支座(3)的外壁设有第一斜面(32)和第二斜面(33)，第一斜面(32)和第二斜面(33)分别位于所述竖向凹槽(31)的两侧，所述第一斜面(32)和第二斜面(33)的上沿分别延伸至所述竖向凹槽(31)的槽口。

2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：所述样品台(2)为矩形，所述样品台(2)的侧壁均开设有倒T型槽，所述样品支座(3)为倒T型座，所述倒T型座与所述倒T型槽滑动配合。

3.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：还包括锁紧螺栓(4)和定位板(5)，所述锁紧螺栓(4)活动穿过所述定位板(5)的中心后，与所述样品台(2)的中心螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：所述第一斜面(32)与第二斜面(33)的倾角不相同。

5.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：所述样品台(2)底部设有支柱(6)，所述样品基座(1)上开设有固定孔(7)，所述固定孔(7)与所述支柱(6)一一对应。

说明书：扫描电子显微镜多样品装载组合装置技术领域[0001] 本实用新型涉及检测设备领域，特别涉及扫描电子显微镜多样品装载组合装置。背景技术[0002] 扫描电子显微镜因为其观测尺度跨幅大，能够分析的微区面积大可到达平方毫米的量级，小可至平方微米的量级，图像的几何分辨率可达到或优于纳米级。其样品制备相对简单，附件以及其他功能丰富。目前，扫描电镜已广泛应用于物理、化学、材料、冶金、矿物、地质、生物等领域，是科研、生产等领域中应用最广泛的显微分析仪器之一，是当前必不可少的分析手段。样品台是SEM的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子束扫描系统成像表征样品的局部特征。然而，目前SEM常用的样品台对装载样品的断面斜面观察有一定的限制，只适用于平面或断面的观察，不能在一个样品台上观察到样品的斜面、平面及断面样品形貌；当需要对样品的平面、断面及斜面进行观测时，需要选择多个类型不同的样品台并先后进样，增加了扫描电子显微镜的观测时间，影响观测效率。实用新型内容

[0003] 为了解决上述问题，本实用新型提供扫描电子显微镜多样品装载组合装置。[0004] 本实用新型采用的技术方案如下：扫描电子显微镜多样品装载组合装置，关键在于：包括样品基座及插设于所述样品基座上的样品台，沿着所述样品台边沿插设有多个样品支座；[0005] 所述样品支座的内端插入所述样品台，所述样品支座的上表面开设有竖向凹槽，所述竖向凹槽的一端穿出所述样品支座的外端，所述样品支座的外壁设有第一斜面和第二斜面，第一斜面和第二斜面分别位于所述竖向凹槽的两侧，所述第一斜面和第二斜面的上沿分别延伸至所述竖向凹槽的槽口。[0006] 优选的，所述样品台为矩形，所述样品台的侧壁均开设有倒T型槽，所述样品支座为倒T型座，所述倒T型座与所述倒T型槽滑动配合。[0007] 优选的，还包括锁紧螺栓和定位板，所述锁紧螺栓活动穿过所述定位板的中心后，与所述样品台的中心螺纹连接。[0008] 优选的，所述第一斜面与第二斜面的倾角不相同。[0009] 优选的，所述样品台底部设有支柱，所述样品基座上开设有固定孔，所述固定孔与所述支柱一一对应。[0010] 有益效果：与现有技术相比，本实用新型提供的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，结构合理，可以通过多个样品台同时装载多种样品进行观察，同一样品支座上的竖向凹槽、第一斜面和第二斜面可以用于观察样品的斜面、平面及断面样品形貌，无需选择多个类型不同的样品台并先后进样，减少了扫描电子显微镜的观测时间，提高了观测效率。附图说明[0011] 图1为本实用新型的结构示意图；[0012] 图2为图1的俯视图；[0013] 图3为样品支座的结构示意图。具体实施方式[0014] 为使本领域技术人员更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作详细说明。[0015] 如图1?3中所示，扫描电子显微镜多样品装载组合装置，包括样品基座1及插设于所述样品基座1上的样品台2，沿着所述样品台2边沿插设有多个样品支座3；[0016] 所述样品支座3的内端插入所述样品台2，所述样品支座3的上表面开设有竖向凹槽31，所述竖向凹槽31的一端穿出所述样品支座3的外端，所述样品支座3的外壁设有第一斜面32和第二斜面33，第一斜面32和第二斜面33分别位于所述竖向凹槽31的两侧，所述第一斜面32和第二斜面33的上沿分别延伸至所述竖向凹槽31的槽口。各样品支座上分别装载不同的样品进行观察，同一样品支座上的竖向凹槽的槽底可用于样品平面观察，竖向凹槽的侧壁可用于端面观察，第一斜面和第二斜面可以用于样品的斜面观察。[0017] 本实施例中，所述样品台2为矩形，所述样品台2的侧壁均开设有倒T型槽，所述样品支座3为倒T型座，所述倒T型座与所述倒T型槽滑动配合。样品支座和样品台滑动配合，使得样品更换方便、快捷。[0018] 本实施例中，还包括锁紧螺栓4和定位板5，所述锁紧螺栓4活动穿过所述定位板5的中心后，与所述样品台2的中心螺纹连接。通过旋紧锁紧螺栓，将定位板与各样品支座压紧，从而将样品支座与样品固定。[0019] 本实施例中，所述第一斜面32与第二斜面33的倾角不相同。可以从不同的倾斜角度进行样品斜面形貌观察，优选的，第一斜面的倾角范围为55°?65°，第二斜台面的倾角范围为25°?35°。[0020] 本实施例中，所述样品台2底部设有支柱6，所述样品基座1上开设有固定孔7，所述固定孔7与所述支柱6一一对应。可以实现样品台的有效固定，防止样品在测试过程中发生漂移，优选的，固定孔有5～11个，其中一个所述固定孔位于样品基座的中心，剩余固定孔围绕该中心固定孔均匀分布，支柱与固定孔一一对应。[0021] 最后需要说明，上述描述仅为本实用新型的优选实施例，本领域的技术人员在本实用新型的启示下，在不违背本实用新型宗旨及权利要求的前提下，可以做出多种类似的表示，这样的变换均落入本实用新型的保护范围之内。