用于硅片分选机的分选装置

128 编辑：中冶有色技术网来源：四川晶美硅业科技有限公司

2024-03-13 15:04:20

权利要求书： 1.一种用于硅片分选机的分选装置，其特征在于，包括输送机构(100)，所述输送机构(100)包括说第一输送机(110)、支架(120)、电动推杆(130)和第二输送机(140)，所述支架(120)固定在所述第一输送机(110)一侧，所述电动推杆(130)固定在所述支架(120)表面，所述电动推杆(130)输出端与所述第一输送机(110)表面间隙配合，所述第二输送机(140)间隔设置在所述第一输送机(110)一侧，所述第二输送机(140)一侧固定有拨杆(141)，所述拨杆(141)与所述第二输送机(140)表面间隙配合；

分选机构(200)，所述分选机构(200)包括分选机本体(210)、转动杆(220)、分选台(230)、支撑杆(240)和电机(250)，所述分选机本体(210)设置在所述第一输送机(110)和所述第二输送机(140)之间，所述转动杆(220)转动连接在所述分选机本体(210)一侧，所述分选台(230)固定在所述转动杆(220)一端，所述支撑杆(240)设有若干组，若干组所述支撑杆(240)间隔固定在所述分选台(230)四周，所述支撑杆(240)与所述第一输送机(110)在同一水平面上，所述电机(250)固定在所述分选机本体(210)一侧，所述电机(250)与所述转动杆(220)传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片分选机的分选装置，其特征在于，所述电动推杆(130)一端固定有推板(131)，所述推板(131)与所述第一输送机(110)表面间隙配合。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片分选机的分选装置，其特征在于，所述支撑杆(240)表面固定有防滑垫(241)。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片分选机的分选装置，其特征在于，所述支撑杆(240)下表面与所述第二输送机(140)间隙配合。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片分选机的分选装置，其特征在于，所述支撑杆(240)上表面与所述拨杆(141)下表面间隙配合。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅片分选机的分选装置，其特征在于，所述分选机本体(210)包括机体(211)和扫描部(212)，所述扫描部(212)设置在所述支撑杆(240)下方。

7.根据权利要求6所述的一种用于硅片分选机的分选装置，其特征在于，所述机体(211)表面安装有轴承座(2111)，所述转动杆(220)固定在所述轴承座(2111)内。

8.根据权利要求1所述的一种用于硅片分选机的分选装置，其特征在于，所述转动杆(220)包括第一杆体(221)和第二杆体(222)，所述第二杆体(222)滑动插接在所述第一杆体(221)内，所述第一杆体(221)一侧安装有螺栓(2211)，所述螺栓(2211)抵在所述第二杆体(222)表面。

9.根据权利要求8所述的一种用于硅片分选机的分选装置，其特征在于，所述第一杆体(221)一端安装有传动轮(2212)，所述传动轮(2212)上设有传动带，所述传动带与所述电机(250)传动连接。

10.根据权利要求1所述的一种用于硅片分选机的分选装置，其特征在于，所述第二输送机(140)高度小于第一输送机(110)高度。

说明书：一种用于硅片分选机的分选装置技术领域[0001] 本申请涉及硅片分选装置领域，具体而言，涉及一种用于硅片分选机的分选装置。背景技术[0002] 元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素，硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于

集成电路的制造，硅片的分选分两大部份：外观检查(即崩边、缺角、花片、破片类的目视)；

仪器检测(电阻检测、TT检测及厚度检测)。

[0003] 硅片分选机在对硅片进行分选时，需要用机械手将硅片从传送带上移动到扫面台上，待扫描完毕后再利用机械手将硅片移动到传送带上，过程较多导致分选效率低。

实用新型内容

[0004] 为了弥补以上不足，本申请提供了一种用于硅片分选机的分选装置，解决了分选时过程多导致分选效率低的问题。

[0005] 本申请是这样实现的：[0006] 本申请提供一种用于硅片分选机的分选装置，包括输送机构和分选机构。[0007] 所述输送机构包括说第一输送机、支架、电动推杆和第二输送机，所述支架固定在所述输送机一侧，所述电动推杆固定在所述支架表面，所述电动推杆输出端与所述第一输

送机表面间隙配合，所述第二输送机间隔设置在所述第一输送机一侧，所述第二输送机一

侧固定有拨杆，所述拨杆与所述第二输送机表面间隙配合。

[0008] 所述分选机构包括分选机本体、转动杆、分选台、支撑杆和电机，所述分选机本体设置在所述第一输送机和所述第二输送机之间，所述转动杆转动连接在所述分选机本体一

侧，所述分选台固定在所述转动杆一端，所述支撑杆设有若干组，若干组所述支撑杆间隔固

定在所述分选台四周，所述支撑杆与所述第一输送机在同一水平面上，所述电机固定在所

述分选机本体一侧，所述电机与所述转动杆传动连接。

[0009] 在上述实现过程中，将待检测硅片放置在第一输送机表面，待硅片到达第一输送机表面一侧的电动推杆旁时，电动推杆将硅片推至分选台一侧的支撑杆表面，此时电机带

动转动杆转动将硅片转动到分选机本体表面的扫描部进行扫描，不合格的产品直接被机械

臂取下，合格的将被分选台移动到第二输送机表面，被第二输送机一侧的拨杆拨下掉落在

第二输送机表面随后被输送至收料处，该一种用于硅片分选机的分选装置免去了机械臂从

输料台和扫描台上取料下料的步骤，分选效率高。

[0010] 在一种具体的实施方案中，所述电动推杆一端固定有推板，所述推板与所述第一输送机表面间隙配合。

[0011] 在上述实现过程中，推板用于将第一输送机表面的硅片推至支撑杆上。[0012] 在一种具体的实施方案中，所述支撑杆表面固定有防滑垫。[0013] 在上述实现过程中，防滑垫可以防止分选台在转动时硅片不会在支撑杆上滑落。[0014] 在一种具体的实施方案中，所述支撑杆下表面与所述第二输送机间隙配合。[0015] 在上述实现过程中，支撑杆刚好能够在第二输送机表面经过，降低硅片掉落的高度，起到保护作用。

[0016] 在一种具体的实施方案中，所述支撑杆上表面与所述拨杆下表面间隙配合。[0017] 在上述实现过程中，支撑杆经过拨杆下方时刚好将表面的硅片拨下。[0018] 在一种具体的实施方案中，所述分选机本体包括机体和扫描部，所述扫描部设置在所述支撑杆下方。

[0019] 在上述实现过程中，扫描部将经过上方的硅片进行扫描。[0020] 在一种具体的实施方案中，所述机体表面安装有轴承座，所述转动杆固定在所述轴承座内。

[0021] 在上述实现过程中，轴承座提供转动杆的转动支点。[0022] 在一种具体的实施方案中，所述转动杆包括第一杆体和第二杆体，所述第二杆体滑动插接在所述第一杆体内，所述第一杆体一侧安装有螺栓，所述螺栓抵在所述第二杆体

表面。

[0023] 在上述实现过程中，第一杆体和第二杆体可以调节分选台的高度。[0024] 在一种具体的实施方案中，所述第一杆体一端安装有传动轮，所述传动轮上设有传动带，所述传动带与所述电机传动连接。

[0025] 在上述实现过程中，传动轮和传动带用于传动。[0026] 在一种具体的实施方案中，所述第二输送机高度小于第一输送机高度。[0027] 在上述实现过程中，保证了分选台外侧的支撑杆在第二输送机和第一输送机表面能顺利上下料。

附图说明[0028] 为了更清楚地说明本申请实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作

是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根

据这些附图获得其他相关的附图。

[0029] 图1是本申请实施方式提供的一种用于硅片分选机的分选装置第一视角结构示意图；

[0030] 图2是本申请实施方式提供的分选机构第一视角结构示意图；[0031] 图3为本申请实施方式提供的一种用于硅片分选机的分选装置第二视角结构示意图；

[0032] 图4为本申请实施方式提供的分选机构第二视角结构示意图。[0033] 图中：100?输送机构；110?第一输送机；120?支架；130?电动推杆；131?推板；140?第二输送机；141?拨杆；200?分选机构；210?分选机本体；211?机体；2111?轴承座；212?扫描

部；220?转动杆；221?第一杆体；2211?螺栓；2212?传动轮；222?第二杆体；230?分选台；240?

支撑杆；241?防滑垫；250?电机。

具体实施方式[0034] 下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述。[0035] 为使本申请实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施方式中的附图，对本申请实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实

施方式是本申请一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本申请中的实施方式，本领

域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请

保护的范围。

[0036] 因此，以下对在附图中提供的本申请的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施方式。基于本申请中的实施方式，本领

域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请

保护的范围。

[0037] 应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

[0038] 在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时

针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于

描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特

定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

[0039] 此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者

隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，

除非另有明确具体的限定。

[0040] 在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相

连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关

系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体

含义。

[0041] 在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它

们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特

征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在

第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示

第一特征水平高度小于第二特征。

[0042] 实施例[0043] 请参阅图1，本申请提供一种技术方案：一种用于硅片分选机的分选装置包括输送机构100和分选机构200，其中分选机构200设置在输送机构100之间。

[0044] 请参阅图1和2，输送机构100包括说第一输送机110、支架120、电动推杆130和第二输送机140，支架120固定在第一输送机110一侧，电动推杆130固定在支架120表面，电动推

杆130输出端与第一输送机110表面间隙配合，电动推杆130一端固定有推板131，推板131与

第一输送机110表面间隙配合，第二输送机140间隔设置在第一输送机110一侧，第二输送机

140一侧固定有拨杆141，拨杆141与第二输送机140表面间隙配合，第二输送机140高度小于

第一输送机110高度。

[0045] 请参阅图1、2、3和4，分选机构200包括分选机本体210、转动杆220、分选台230、支撑杆240和电机250，分选机本体210设置在第一输送机110和第二输送机140之间，分选机本

体210包括机体211和扫描部212，扫描部212设置在支撑杆240下方，机体211表面安装有轴

承座2111，转动杆220固定在轴承座2111内，转动杆220转动连接在分选机本体210一侧，转

动杆220包括第一杆体221和第二杆体222，第二杆体222滑动插接在第一杆体221内，第一杆

体221一侧安装有螺栓2211，螺栓2211抵在第二杆体222表面，第一杆体221一端安装有传动

轮2212，传动轮2212上设有传动带，传动带与电机250传动连接，分选台230固定在转动杆

220一端，支撑杆240设有若干组，支撑杆240表面固定有防滑垫241，若干组支撑杆240间隔

固定在分选台230四周，支撑杆240下表面与第二输送机140间隙配合，支撑杆240上表面与

拨杆141下表面间隙配合，支撑杆240与第一输送机110在同一水平面上，电机250固定在分

选机本体210一侧，电机250与转动杆220传动连接。

[0046] 具体的，该一种用于硅片分选机的分选装置的工作原理：工作时，将待检测硅片放置在第一输送机110表面，待硅片到达第一输送机110表面一侧的电动推杆130旁时，电动推

杆130将硅片推至分选台230一侧的支撑杆240表面，此时电机250带动转动杆220转动将硅

片转动到分选机本体210表面的扫描部212进行扫描，不合格的产品直接被机械臂取下，合

格的将被分选台230移动到第二输送机140表面，被第二输送机140一侧的拨杆141拨下掉落

在第二输送机140表面随后被输送至收料处。

[0047] 以上仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何

修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。应注意到：相似的标号和字母

在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不

需要对其进行进一步定义和解释。

[0048] 以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵

盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。