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精密半导体清洗装置

979   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 02:57:46
本发明涉及半导体技术领域,公开了一种精密半导体清洗装置,包括箱体、控制器、水箱、半导体进出口、废水出口;箱体的内部左侧固定安装有气缸腔,气缸腔的内中部固定有气缸,气缸的右侧输出端设置有穿过气缸腔的横向的活塞杆,活塞杆的末端固定安装有旋转安装块,旋转安装块的右侧转动连接有与活塞杆同轴心的连接杆,连接杆的末端固定安装有夹持块,箱体的内部右侧固定安装有旋转电机腔,旋转电机腔的内中部设置有旋转电机,旋转电机的左侧输出端转动连接有穿过旋转电机腔的旋转杆,旋转杆的末端也固定安装有夹持块。夹持块的一侧设置有夹持口,位于夹持块上方的箱体的内顶部向下设置有两组喷水口。本发明冲洗速度快,全面,精度高,效果好。
声明:
“精密半导体清洗装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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