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PVD载板清洗机

904   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 05:47:38
本实用新型公开了一种PVD载板清洗机，包括自动清洗设备、程式控制柜和远程终端，所述自动清洗设备包括依次并排设置第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽，所述第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽上方设置有行车机构和废气抽排系统，所述行车机构连接一次性承装多片载板的多片式花篮，所述加热烘干槽侧面设置有计算机程控及远程系统，所述远程终端通过程式控制柜和计算机程控及远程系统控制自动清洗设备。本实用新型通过计算机程序编辑控制准确完成编程中设定的每道清洗动作及流程，以高度自动化程序取代人员操作，具有稳定清洗产能及清洗质量，避免人员暴露在危险操作中。
声明：
“PVD载板清洗机” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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