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薄膜制备设备

891   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:57:10
本实用新型公开了一种薄膜制备设备，包括：将注入反应液进行化学沉积反应的反应槽(10)；设置在反应槽(10)外部的循环装置(20)，循环装置(20)的一端与反应槽(10)底部连通，另一端与反应槽(10)上部连通，循环装置(20)将经反应槽(10)上部溢出的反应液输送至外部加热器加热，然后经反应槽(10)底部的注液口注入该反应液，还包括：至少一个加热装置(30)，设置在反应槽(10)下部或底部外侧，用于非接触地对反应槽(10)内的反应液加热；测温仪(40)，设置在反应槽(10)上部出口附近，用于检测反应槽(10)溢流反应液的温度。采用本实施方案，有效地解决加热时延问题，并使反应槽(10)内反应液迅速升温的同时温度均匀分布。
声明：
“薄膜制备设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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