本发明公开了一种硅钢EBSD试样的制备方法,包括步骤:S1、镶嵌:采用导电型镶嵌料对硅钢试样进行镶嵌;S2、机械抛光:对镶嵌后的试样进行抛光;S3、配置腐蚀剂;S4、侵蚀:将抛光后的试样浸入腐蚀剂中,侵蚀时间为6‑8秒;S5、清洁:对侵蚀后的试样表面进行清洁。本发明的硅钢EBSD试样的制备方法,可以制备符合硅钢EBSD分析的试样,制备过程操作简单,易于掌握,通过对试样的机械抛光和简单的化学浸蚀,可以提高硅钢EBSD试样的衍射花样解析率,效果良好。
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