本发明涉及使金属氟氧化物mo(6-x)/2fx(0＜x＜6、m＝w或mo)与含氟气体进行化学反应而转换为mf6的处理方法及使用该处理方法去除金属氟氧化物(metaloxyfluorides)的沉积物等的清洁方法。
背景技术：
：作为化学气相沉积钨(w)及钨化合物、钼(mo)或钼化合物时的前体，已知有六氟化钨或六氟化钼。作为这些前体的工业制造方法，已知有如反应式(1-1)～(1-2)、反应式(2-1)～(2-2)所示，使金属钨与氟或三氟化氮、使金属钼与氟或三氟化氮接触的方法。w(s)+3f2(g)→wf6(g)反应式(1-1)w(s)+2nf3(g)→wf6(g)+n2(g)反应式(1-2)mo(s)+3f2(g)→mof6(g)反应式(2-1)mo(s)+2nf3(g)→mof6(g)+n2(g)反应式(2-2)六氟化钨与六氟化钼在工业制造方法中使用了金属钨或金属钼，但在金属钨或金属钼中包含氧化物、及表面氧化物作为杂质，原料的氟或三氟化氮与这些氧化物反应，生成wof4或moof4等金属氟氧化物mo(6-x)/2fx(0＜x＜6、m＝w或mo)作为杂质。wo3(s)+2f2(g)→wof4+o2(g)反应式(3-1)wo3(s)+4/3nf3(g)→wof4+o2(g)+2/3n2(g)反应式(3-2)moo3(s)+2f2(g)→moof4+o2(g)反应式(4-1)moo3(s)+4/3nf3(g)→moof4+o2(g)+2/3n2(g)反应式(4-2)金属氟氧化物也会因作为产物的六氟化钨或六氟化钼与金属氧化物接触而生成。wo3(s)+2wf6(g)→3wof4反应式(3-3)wo3(s)+2wf6(g)→3wof4反应式(4-3)进而，金属氟氧化物也会因作为产物的六氟化钨或六氟化钼与水(h2o)进行接触而生成。h2o+wf6(g)→wof4+2hf反应式(3-4)h2o+mof6(g)→moof4+2hf反应式(4-4)另外，在将六氟化钨或六氟化钼用作化学气相沉积钨或钨化合物、钼或钼化合物时的前体的情况下，使用与成为被处理基板的si晶圆的si进行反应的方法(反应式(5-1))、或与添加的h2进行反应的方法(反应式(5-2))等。但在成为被处理基板的si晶圆因自然氧化膜等而存在sio2的情况下，生成金属氟氧化物(反应式(5-3))。另外，也会因腔室内的水分而
声明：
“金属氟氧化物的处理方法及清洁方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：中央硝子株式会社
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2025年05月16日 ~ 18日 
