1.本发明实施例涉及电子元器件制备技术领域，尤其涉及一种金属掩模的张网装置及其方法、张网设备。
背景技术：
2.在电子元器件的制备工艺中，金属掩模作为图形信息的载体，通过真空蒸镀的方式，将图形转移到被蒸镀产品上，从而形成具有相应图形形状的电子元器件。
3.通常金属掩模和被蒸镀产品会由相应的载体进行固定，且载有金属掩模和被蒸镀产品的载体会发生相对运动，使得在将金属掩模的图形转移至被蒸镀产品时，能够满足一定的精度要求。现有技术中金属掩模会采用相应的装置进行夹持拉伸，以对金属掩模进行张网。
4.但是，随着集成度的提高，电子元器件制备工艺的精度要求越来越高，对金属掩模进行张网的精度要求越来越高，如何在确保金属掩模具有较高张网精度的前提下，实现金属掩模的自动化张网，成为当前亟待解决的技术问题。
技术实现要素：
5.针对上述存在问题，本发明实施例提供一种金属掩模的张网装置及其方法、张网设备，以在确保金属掩模具有较高张网精度的前提下，能够实现金属掩模的自动化张网。
6.第一方面，本发明实施例提供了一种金属掩模的张网装置，包括：多个夹持拉伸模块和与多个所述夹持拉伸模块一一对应设置的多个第一运动机构；
7.至少部分所述夹持拉伸模块分布于金属掩模张网区相对的两侧；每个所述夹持拉伸模块包括夹持单元、柔性单元、拉伸单元以及位移检测单元；所述柔性单元设置于所述夹持单元与所述拉伸单元之间，且所述夹持单元、所述柔性单元和所述拉伸单元沿第一方向依次排列；所述拉伸单元设置于所述第一运动机构上；所述第一运动机构带动所述拉伸单元沿所述第一方向和/或第二方向运动，所述拉伸单元拉伸所述柔性单元，以使所述柔性单元发生形变，并带动所述夹持单元在所述第一方向和/或所述第二方向上发生位移；其中，所述第一方向与所述第二方向交叉；
8.所述夹持单元用于夹持并固定位于所述金属掩模张网区的金属掩模；
9.所述位移检测单元用于检测对应的所述拉伸单元的位移信息；
10.其中，各所述第一运动机构的运动状态相互独立，以及同一所述第一运动机构在所述第一方向上的运动状态与其在所述第二方向上的运动状态相互独立。
11.第二方面，本发明实施例还提供了一种金属掩模的张网方法，采用金属掩模的张网装置执行，所述金属掩模的张网装置包括多个拉伸单元，所述金属掩模包括预对准标记、多个tp标记和多个像素标记，所述多个像素标记中包
声明：
“金属掩模的张网装置及其方法、张网设备与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：上海微电子装备（集团）股份有限公司
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2025年05月16日 ~ 18日 
