1.本发明属于单晶硅生产设备技术领域，具体涉及单晶炉坩埚连续加料方法及加料装置。
背景技术：
2.单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
3.在使用单晶炉生产单晶硅的过程中，直拉单晶硅除了有生产流程长、工艺繁琐的缺点外，还有坩埚小，而且不能连续加料等弱点。因此，每融化一坩埚的多晶硅料只能拉一根单晶棒。每拉一根单晶棒就要降一次温，就得停一次炉，拆一次炉，清理一次热场以及过滤系统等等。不仅浪费人力、浪费能源，而且严重影响生产效率，生产成本大，不利于单晶硅直拉炉的发展。
4.综上所述，为解决现有的技术问题，本发明设计了结构简单、无需使单晶炉降温即可加料的单晶炉坩埚连续加料方法及加料装置。
技术实现要素：
5.本发明为解决现有的技术问题，设计了结构简单、无需使单晶炉降温即可加料的单晶炉坩埚连续加料方法及加料装置。
6.本发明的目的可通过以下技术方案来实现：
7.一种单晶炉坩埚连续加料方法，包括以下步骤：
8.s1、锥形阀使料仓的加料口处于关闭状态，打开仓盖，向料仓内添加原料；
9.s2、原料添加完成，关闭仓盖；
10.s3、将出料连接口与单晶炉主体连接，将单晶炉内抽真空；
11.s4、滑轨使振动器向出料连接口移动，送料管伸入单晶炉内，接料斗与加料口对应；
12.s5、打开振动器，打开锥形阀，使原料从加料口落入接料斗并进入送料管；
13.s6、称重传感器检测料仓重量，反馈加料进度；
14.s7、原料在送料管内振动前进，并从送料管的端口落入单晶炉内的坩埚内；
15.s8、运料机构送料弯成后，锥形阀关闭，振动器保持工作；
16.s9、当送料管内没有原料后，振动器关闭，滑轨带动振动器回退，送料管伸出单晶炉，完成加料。
17.一种基于单晶炉坩埚连续加料方法的单晶炉坩埚连续加料装置，包括机架，包括：
18.料仓，所述料仓设置在机架上部，所述料仓上方设有进料口，所述料仓下方设有加料口，所述加料口处设有锥形阀；
19.运料机构，所述运料机构设置在机架下部，所述运料机构包括送料管、接料斗、振
动器、滑轨，所述滑轨与机架连接，所述振动器设置在滑轨上，所述送料管一端与振动器上方连接，所述接料斗
声明：
“单晶炉坩埚连续加料方法及加料装置与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
830
编辑：中冶有色网
来源：浙江晶阳机电股份有限公司
分享 0
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
2025年05月16日 ~ 18日 
