化学气相沉积系统(CVD)为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD), 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。HTTF-1200-V-PECVD等离子体增强滑动式真空管式炉PECVD系统广泛应用于沉积高质量SiO薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)等。
升降式真空炉不同于普通真空炉,采用底部开门,方便材料放置,主要用于各种金属材料及合金材料、高速钢、冷热作模具钢、不锈钢、弹性合金、高温合金、软磁性材料、不锈钢材料、钛合金、硬质合金等的真空退火、时效工艺,同时立式真空炉也适用于工具钢、模具钢等合金钢的回火工艺等。
1700℃高温箱式真空炉以钼丝或硅钼棒为加热元件,采用双层壳体结构和PID30段程序控温系统,移相触发、可控硅控制,炉膛采用软质和硬质碳纤维材料,能快速升降温。采用外壳整体密封,盖板和炉门密封均采用高温硅胶O型圈,炉门处装有水冷系统。该炉必须在真空下烧结,该炉采用2X-30机械泵(配电磁放气阀)及K-200油扩散泵,同时设有冷阱及机组,该炉具有体积小、温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、价格优惠、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做真空烧结用的理想产品。
STATF-1200-R可倾斜旋转管式加热炉是恒通电炉自行研制开发的一款管式电炉,具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、升温速率快等特点。带三个冷却风扇的双层结构,高纯氧化铝纤维材料,具有极好的保温性。直流电机驱动石英管以0-7RPM旋转,炉子用电动升降机可以倾斜到内炉膛表面涂有氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度,可根据客户需求定制不同规格的旋转管式电炉。
STATF-1200-R可倾斜旋转管式加热炉是恒通电炉自行研制开发的一款管式电炉,具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、升温速率快等特点。带三个冷却风扇的双层结构,高纯氧化铝纤维材料,具有极好的保温性。直流电机驱动石英管以0-7RPM旋转,炉子用电动升降机可以倾斜到内炉膛表面涂有氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度,可根据客户需求定制不同规格的旋转管式电炉。
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