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多腔体磁控溅射系统

多腔体磁控溅射系统

296
规格/型号:DE5000
品牌:德仪天力
应用领域:材料制备
产地:北京 - 北京
厂家/供应商:北京德仪天力科技发展有限公司
咨询电话::010-67832716/17(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-04-01
级别:待认证

多腔体磁控溅射系统说明介绍

多腔体磁控溅射系统

特点

适用于科研、中试和量产

溅射室单靶或多靶

金属、介质材料溅射

可选RF等离子体或离子源基片清洗

可选基片氧化

基片尺寸:可选:2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

真空度<5E-8Torr

膜厚均匀性<±3%

基片自动传样机构

PLC+工控PC全自动控制

可配EFEM适于FAB百级净化间、无人车间
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北京德仪天力科技发展有限公司
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所属领域:
材料制备
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