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中试-量产 磁控溅射系统

中试-量产 磁控溅射系统

350
规格/型号：DE700PVD
品牌：德仪天力
应用领域：材料制备
产地：北京 - 北京
厂家/供应商：北京德仪天力科技发展有限公司
咨询电话:：010-67832716/17（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-04-01
级别：待认证

中试-量产 磁控溅射系统说明介绍


特点

· 用于中试和量产

· 多个溅射源

· 可溅射金属、半导体、介质材料及磁性材料

· 可溅射单层膜、多层膜或共溅合金薄膜或反应溅射

· PID下游或上游压力控制

· 可选离子源辅助沉积

· 可选RF等离子体或离子源基片清洗

· 可选基片氧化

· 整套系统通过工控机和PLC实现全自动控制

主要配置

溅射腔体：不锈钢腔体

真空泵：分子泵(或冷凝泵)和干泵

真空阀：高真空插板阀

真空测量：宽量程真空计

溅射源：多个磁控溅射阴极，可配DC、Pulse DC、RF、HIPIMS电源

基片台：基片可旋转，可选加热或冷却

压力控制：多路气体配流量计和压力计，PID溅射压力控制

可选薄膜监控：晶振膜厚/速率监控

可选预真空室：基片自动传递

镀膜室主要技术指标

极限真空压力：<9E-8Torr

基片尺寸：可选：3英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

可选基片加热至：600℃

片内膜厚均匀性：≤+/-3%

片间膜厚重复性：≤+/-2%

装片能力

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标签：
磁控溅射系统
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企业认证：
  
所属领域：
材料制备
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