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薄膜厚度测量仪

薄膜厚度测量仪

109
规格/型号:FR-pRo
品牌:岱美仪器
应用领域:分析检测
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:岱美仪器技术服务(上海)有限公司
咨询电话::131 4601 4551(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-05-31
级别:待认证

薄膜厚度测量仪说明介绍

岱美仪器


工作原理:

通过分析垂直入射光在薄膜表面及基底界面反射后形成的干涉光谱,结合薄膜材料的光学常数(折射率n、消光系数k),精确计算薄膜厚度。


应用范围:

广泛应用于半导体制造(如光刻胶、电介质层)、光伏产业(钙钛矿、ITO 涂层)、生物医学(派瑞林涂层)、高分子材料(PI 膜)、光学镀膜等领域。其非接触式测量特性可避免对样品的损伤,适用于弯曲基底、粗糙表面及液体环境下的薄膜表征。


产品技术参数:

厚度测量范围:1nm-1mm(依光谱配置调整)

光谱范围:200nm-2500nm(支持 UV/Vis/NIR 多波段)

光源:氘灯+钨卤素灯(寿命 10000 小时)

光斑尺寸:最小 350μm(可选配 <100μm 聚焦模块)

样品台:支持手动/自动 XY 平台(最大 300mm×300mm)及加热模块(室温-200℃)

数据库:预存 >600 种材料光学参数


产品特点:

模块化设计:用户可按需选配光谱仪、光源、探头及环境控制模块(如液体试剂盒、积分球),适配不同应用场景。

高精度与稳定性:采用白光干涉技术,结合动态快速测量算法,实现纳米级分辨率与 0.05nm 稳定性。

多功能分析:支持单点测量、Mapping 扫描及光学参数(n、k)同步提取,兼容离线与在线测量模式。

用户友好:配备 Windows 操作系统软件,支持视频录制、数据离线分析及免费更新。

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