江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置：中冶有色 > 有色产品 >

有色金属设备

矿山设备

冶金设备

材料制备及加工设备

环境保护设备

分析检测设备

材料

> 材料制备及加工设备

> 加工设备

> 纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统

纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统

纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统

339
规格/型号：暂无
品牌：科睿设备
应用领域：加工设备
产地：上海 - 上海
厂家/供应商：科睿设备有限公司
咨询电话:：852-2710-8200（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-06-15
级别：待认证

纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统说明介绍

纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统

纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统


纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统 是一种多功能的 PVD 系统，能够生成纳米颗粒和薄膜，非常适合工业和学术研究。NL-FLEX 能够容纳任何类型的基材，包括卷对卷、非平面和粉末涂料。服务于广泛的应用，包括催化、光子学、储能、传感器和生命科学。这种模块化 PVD 沉积系统可以与分析工具集成，为您的研究需求提供完全定制的解决方案。

主要特点

通过结合纳米颗粒和薄膜生成复杂材料

使用 NL-UHV 的无烃纳米颗粒

宽敞且易于访问的腔室，非常适合精密和复杂的基材

向上或向下的源配置

与第三方来源兼容

使用旋转、加热和偏置选项对 3D 对象进行涂层

全自动和配方驱动的软件

基本系统配置

沉积室的大小 : 450 x 450 x 450 毫米

基础压力 : < 5e– 7托

取向 : 溅射

示例表 : 4 英寸晶圆，20rpm 旋转

泵: 700 升/秒涡轮增压器，7.2 米3/hr 干式前级泵

阀: 手动阀、百叶窗和线性驱动器

控制软件 : 配方驱动过程、电源控制和数据记录

原位监测 : 用于过程监控和终点检测的石英晶体微量天平

源端口 : 多达 6 个沉积源

源类型: 纳米粒子源、磁控溅射源、迷你电子束蒸发器、热舟源K 池、离子源、射频原子源

选项

可拆卸的沉积屏蔽层

朝上的源几何体

样品台：

– 用于纳米粒子加速的直流偏压

– 用于样品表面清洁的射频偏置

– 加热至 800°C

阀门、百叶窗和线性驱动器的自动化选项

涡轮前方的可调节挡板，以增加动态压力范围，以便在较低气体流量下进行溅射

带传输臂的单独泵送负载锁

控制软件

Spectrum Software Brochure

直观的“拖放”用户界面易于使用，并允许完全自动化的抽真空和沉积序列。

特征：

⇒全自动抽空和排气

⇒ 配置虚拟机架以适合您的流程

⇒ 易于添加和删除设备

⇒ 实时图表

⇒ 连锁监控

⇒ 配方控制

⇒ 数据记录功能

分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统 加工设备
上一个： 超高真空磁控溅射系统 下一个： 纳米颗粒和薄膜UHV沉积系统

与“纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统”相关的产品

数控锁体复合加工机
数控锁体复合加工机
芯片到芯片键合机
芯片到芯片键合机
等离子体增强原子层沉积系统
等离子体增强原子层沉积系统
快速退火炉
快速退火炉
反应离子刻蚀系统
反应离子刻蚀系统
电子束蒸发镀膜系统
电子束蒸发镀膜系统
金属有机化合物化学气相沉积
金属有机化合物化学气相沉积
超高真空磁控溅射系统
超高真空磁控溅射系统
纳米颗粒和薄膜UHV沉积系统
纳米颗粒和薄膜UHV沉积系统
脉冲激光分子束外延系统
脉冲激光分子束外延系统

与“纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统”相关的最新需求

与“纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统”相关资讯

全国热门有色金属设备推荐

江苏矿山设备 江苏选矿设备 北京矿山设备 北京选矿设备 江苏冶金设备 南京冶金设备 江苏火法冶金设备 合肥湿法冶金设备 江苏环境保护设备 南京环境保护设备 江苏废水处理设备 江苏大气治理设备 南京大气治理设备 江苏分析检测设备 北京分析检测设备
科睿设备有限公司
企业认证：
  
所属领域：
加工设备
企业性质：
-
经营范围：
-
联系电话：
852-2710-8200
详细地址：
-

报名参会

第二届战略金属资源与氢能产业科技创新大会
第二届战略金属资源与氢能产业科技创新大会
江西 - 上饶
2025年06月20日 ~ 22日
第二届全国盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
第二届全国盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
青海 - 西宁
2025年07月09日 ~ 11日
第二届关键金属选冶与高纯制程技术交流会
第二届关键金属选冶与高纯制程技术交流会
河南 - 郑州
2025年07月11日 ~ 13日
2025全国有色金属材料加工与成形技术交流大会
2025全国有色金属材料加工与成形技术交流大会
河南 - 洛阳
2025年07月16日 ~ 18日
2025全国煤化工科技创新与产业绿色发展论坛
2025全国煤化工科技创新与产业绿色发展论坛
山西 - 太原
2025年07月16日 ~ 18日
碲产业报告2025
推广

推荐产品
更多+

UASB厌氧反应器
UASB厌氧反应器
标签：
环境保护设备 废水处理设备 UASB厌氧反应器
厂家：山东基旭环境工程有限公司
IC厌氧反应器/IC​厌氧罐
IC厌氧反应器/IC​厌氧罐
标签：
环境保护设备 废水处理设备 IC厌氧反应器/IC​厌氧罐
厂家：山东基旭环境工程有限公司
全液压坑道履带式钻机
全液压坑道履带式钻机
标签：
矿山设备 采矿设备 全液压坑道履带式钻机
厂家：河北雲帆机电科技有限公司
滗水器
滗水器
标签：
环境保护设备 废水处理设备 滗水器
厂家：江苏博一环保科技有限公司
砂水分离器
砂水分离器
标签：
环境保护设备 废水处理设备 砂水分离器
厂家：江苏博一环保科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

1杭州嘉悦智能设备有限公司
2赛默飞世尔科技
3河南川萍环保科技有限公司
4濮阳豫沪不锈钢制造有限公司
5南通联源机电科技股份有限公司
6陕西罡正窑炉科技有限公司
7河北雄安奥咨达工程咨询有限公司
8山东君凯铜业有限公司
9河北硕晟环保科技有限公司
10辽宁新万材料科技有限公司

最新更新产品

▪ UASB厌氧反应器
2025-06-16
▪ IC厌氧反应器/IC​厌氧罐
2025-06-16
▪ 全液压坑道履带式钻机
2025-06-16
▪ 滗水器
2025-06-16
▪ 砂水分离器
2025-06-16
▪ 旋流沉砂器
2025-06-16
▪ 桁架式刮泥机
2025-06-16
▪ 中心传动刮吸泥机
2025-06-16
▪ 水力筛
2025-06-16
▪ 转鼓过滤机
2025-06-16
安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
店铺认领信息登记