工作原理
T650采用能量色散型X射线荧光光谱(ED-XRF)技术,通过微型高功率X射线管发射聚焦型高能X射线,穿透镀层后激发基材与镀层原子产生特征X射线荧光。高分辨率硅漂移探测器(SDD)结合数字脉冲处理技术,实时捕获微弱荧光信号并转换为能量谱图,搭载智能多层谱峰分离算法,可精准解析单层厚度或复杂多层结构(如Cu/Ni/Au三层镀层)的厚度及成分比例。仪器内置基体效应动态校正模型与温度补偿模块,确保在不同材质基体(如陶瓷、塑料镀金属)及-10℃至50℃环境下检测结果稳定性。
应用范围
半导体封装:引线框架镀银/镀金厚度均匀性分析、晶圆级封装(WLP)镀层工艺验证;
高端电子:5G通信器件镀钯镍层耐磨性检测、连接器端子镀金层可靠性评估;
新能源:锂电池极片铜箔/铝箔集流体镀碳层厚度优化、氢燃料电池双极板镀层耐腐蚀性筛查;
精密五金:钟表零件镀铑层厚度控制、医疗器械不锈钢部件镀镍层生物相容性检测;
汽车电子:IGBT模块镀铜层散热性能分析、传感器镀金触点信号稳定性验证。
技术参数
测量元素:O(8)-U(92),重点优化贵金属及过渡金属镀层材料;
厚度范围:0.005μm-100μm(单层),支持5层叠加结构分析;
管电压/电流:5-60kV/0-500μA可调,智能功率优化;
探测器:超大面积SDD,分辨率<130eV;
分析时间:0.5-60秒(自动模式),高速模式下≥500点/小时;
定位精度:XYZ三轴伺服电机驱动,重复定位精度±1μm。
产品特点
全自动化智能检测:一键启动自动对焦、测量与报告生成,支持MES系统数据直连;
超微区分析能力:配备显微摄像头与激光定位,可检测Φ0.05mm微小区域镀层;
多层镀层解析专家:内置2000+种材料谱库,自动识别镀层结构并输出3D厚度分布图;
安全环保设计:四级辐射屏蔽系统,通过TÜV认证,操作人员辐射剂量<0.01μSv/h;
模块化扩展:可选配真空腔体(检测轻元素镀层)、自动进样器(批量检测)及AI分析软件包。