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激光干涉仪

激光干涉仪

210
规格/型号:SJ6000
品牌:中图
应用领域:分析检测
产地:浙江 - 杭州
厂家/供应商:杭州精兢检测仪器有限公司
咨询电话::15510407218(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-08-06
级别:待认证

激光干涉仪说明介绍

 中图


工作原理

SJ6000基于迈克尔逊干涉原理,激光束经分光镜分为参考光束与测量光束:参考光束射向固定反射镜,测量光束射向被测物体表面或运动部件携带的移动反射镜。两束光返回后重新汇合产生干涉条纹,光电探测器将条纹变化转换为电信号,通过相位差计算实现位移、角度等参数的解算。系统内置环境补偿模块,实时采集温度、气压、湿度数据,自动修正激光波长变化,确保测量精度。



应用范围

该设备广泛应用于数控机床、三坐标测量机、机器人、3D打印设备等精密运动系统的几何精度检测,可测量导轨直线度、平面度、垂直度、回转轴定位精度及动态特性(如振动、加速度)。在科研领域,支持光学元件表面形貌分析、材料热膨胀系数测定及复杂结构三维形貌重建,尤其适用于航空航天、半导体制造等对精度要求严苛的行业。



技术参数


线性测量:量程0-80m,分辨率1nm,精度0.5ppm(20℃标准环境);

角度测量:轴向量程0-15m,精度±0.02%R±0.1μm/m;

直线度测量:短程(0.1-4m)精度±0.5μm,长程(1-20m)精度±5μm;

动态分析:支持位移、速度、加速度、振幅与频率的实时监测,最大分析频率10kHz;

环境适应性:工作温度0-40℃,湿度0-95%RH(非冷凝)。


产品特点


高稳频激光源:双纵模热稳频技术结合分离式干涉镜设计,避免主机发热导致镜组形变,保障长期测量稳定性;

模块化扩展:标配线性镜组,可选配角度、直线度、垂直度、平面度镜组及自动精密转台,实现多参量同步检测;

智能化软件:向导式操作界面支持中英文切换,自动生成误差补偿表,兼容GB/T 17421、ISO 230等国内外标准;

抗干扰能力强:全光纤传输设计减少电磁干扰,适用于车间现场复杂环境下的高精度测量。

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企业认证:
  
所属领域:
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