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日本台式电子显微镜

日本台式电子显微镜

184
规格/型号:TM4000II
品牌:日本日立
应用领域:分析检测
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:优诺德检测(上海)有限公司
咨询电话::13061749706(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-08-08
级别:待认证

日本台式电子显微镜说明介绍

 日本日立


工作原理

该仪器采用低真空系统与钨灯丝电子枪技术,通过电子束轰击样品表面产生二次电子和背散射电子信号。其核心创新在于高灵敏度低真空二次电子探头(UVD),可在低真空环境下直接捕获电子与残留气体分子碰撞产生的光信号,无需对绝缘或含水样品进行喷金等预处理。配合4分割背散射探测器,可同步采集四个方向的图像信息,实现表面形貌与成分分布的同步分析。



应用范围

TM4000II覆盖材料科学、电子制造、新能源及生命科学等领域。例如,在半导体行业可分析晶圆表面缺陷;在新能源领域可观察电池正极材料的颗粒形貌;在金属材料研究中可检测涂层均匀性及裂纹扩展;在生物样本分析中可观察细胞结构或组织切片。其大样品仓设计支持直径80mm、厚度50mm的样品直接加载,满足多样化分析需求。



技术参数


加速电压:5kV/10kV/15kV/20kV四档可调,电流四档可调

放大倍率:10×—100000×

分辨率:优于3nm(20kV条件下)

探测器:UVD低真空二次电子探头、4分割背散射探测器

样品仓尺寸:直径80mm×厚度50mm

分析时间:从装样到获取图像仅需3分钟

数据输出:支持Word/Excel/PowerPoint格式报告自动生成


产品特点


免预处理观察:低真空系统支持绝缘、含水及粉末样品直接分析,消除传统电镜对导电涂层的需求。

多模态成像:可实时叠加二次电子像与背散射电子像,同步获取表面形貌与成分信息。

智能化操作:配备Camera Navi自动导航功能与Report Creator报告生成模块,简化操作流程。

高扩展性:可选配EDX能谱仪实现元素定量分析,或搭配Multi Zigzag功能实现大范围自动拼图。

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