合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 多晶硅薄膜晶体管的制备方法

多晶硅薄膜晶体管的制备方法

1055   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:23:04
本发明提供一种掩膜金属诱导晶化的多晶硅薄膜晶体管的制备方法,包括:连续横向区域的多晶硅薄膜去除硅氧化物、纳米二氧化硅层和化学氧化层,以Freckle刻蚀液湿刻成有源硅岛,通过低压化学气相沉的方法在425℃下沉积50纳米厚的低温氧化物作为栅极绝缘层;形成栅电极,将硼以4×1015/cm2计量离子注入源极和漏极;以LPCVD的方法沉积500nm的氧化物作为绝缘层并在栅极、源极和漏极区域上开电极接触孔;溅射700纳米厚的含1%Si的光刻形成测试电极,在氢气与氮气的合成气体中420℃下烧结30分钟以形成良好的欧姆接触,同时活化掺杂物。
声明:
“多晶硅薄膜晶体管的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 企业风采 | 青铜峡铝业股份有限公司宁东铝业分公司 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 钨矿——工业之基,战争金属之王 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 2025年锂电池行业十大变革性技术 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记