硫化锌真空气相沉积炉

932 编辑：中冶有色技术网来源：扬州市硕成伟业电热设备有限公司

2023-12-22 10:32:00

权利要求书： 1.硫化锌真空气相沉积炉，包括炉体，所述炉体内设有清扫装置，其特征在于：所述清扫装置铰接在炉体的侧壁上且沿所述侧壁翻转，所述清扫装置从气相沉积炉的进口伸入所述气相沉积炉内。

2.根据权利要求1所述的硫化锌真空气相沉积炉，其特征在于：所述清扫装置包括基座和刮刷机构，所述基座铰接在所述气相沉积炉的侧壁上，所述刮刷机构固定在所述基座上且随所述基座翻转置于所述气相沉积炉内。

3.根据权利要求2所述的硫化锌真空气相沉积炉，其特征在于：所述刮刷机构包括伸缩臂，所述伸缩臂的一端固定在所述基座上且与固定在所述基座上的压缩机连通，所述伸缩臂的另一端固定毛刷。

4.根据权利要求3所述的硫化锌真空气相沉积炉，其特征在于：所述伸缩臂包括若干节相互套合的中空管，底部的一节所述中空管固定在所述基座上且与压缩机连通。

说明书：硫化锌真空气相沉积炉技术领域[0001] 本实用新型涉及一种气相沉积炉，尤其涉及气相沉积炉的清洁机构的改进。背景技术[0002] 气相沉积炉使用过程中会有部分物料残留在炉壁上，因而必须要对炉壁定期进行清洁，现有的清洁方式是直接人工进行清洁，当炉腔较大且深时人工清洁的强度大，清洁不

够均匀，清洁时间长、效率低。

实用新型内容

[0003] 为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种清洁速度快、效率高的硫化锌真空气相沉积炉。

[0004] 本实用新型采用如下技术方案实现：硫化锌真空气相沉积炉，包括炉体，所述炉体内设有清扫装置，所述清扫装置铰接在炉体的侧壁上且沿所述侧壁翻转，所述清扫装置从

气相沉积炉的进口伸入所述气相沉积炉内。

[0005] 所述清扫装置包括基座和刮刷机构，所述基座铰接在所述气相沉积炉的侧壁上，所述刮刷机构固定在所述基座上且随所述基座翻转置于所述气相沉积炉内。

[0006] 所述刮刷机构包括伸缩臂，所述伸缩臂的一端固定在所述基座上且与固定在所述基座上的压缩机连通，所述伸缩臂的另一端固定毛刷。

[0007] 所述伸缩臂包括若干节相互套合的中空管，所述底部的一节中空管固定在所述基座上且与压缩机连通。

[0008] 相比现有技术，本实用新型刮刷机构包括伸缩臂，所述伸缩臂的一端固定在所述基座上且与固定在所述基座上的压缩机连通，所述伸缩臂的另一端固定毛刷。使用时压缩

机将高压空气打入伸缩臂中，使得伸缩臂伸展，需要反复清洁时则控制高压空气的气压，使

得伸缩臂沿高度方向反复伸缩，实现炉壁的清洁。全程仅需要单人操作转动清扫装置，对炉

体内进行清洁，清洁效率更高。

附图说明[0009] 图1是本实用新型结构示意图；[0010] 图中：1、炉体；2、毛刷；3、伸缩臂；4、基座；5、压缩机；6、封门。具体实施方式[0011] 下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的

实施例。

[0012] 如图1所示，硫化锌真空气相沉积炉，包括炉体1，所述炉体1内设有清扫装置，所述清扫装置铰接在炉体1的侧壁上且沿所述侧壁翻转，所述清扫装置从气相沉积炉的进口伸

入所述气相沉积炉内。清扫装置直接铰接在进口处，与原本炉体1的封门6呈对称分布，这样

不会影响炉体1的封闭，在需要清洁时打开封门6，转动清扫装置，送入炉体1内，进行清洁，

全程仅需要单人操作转动清扫装置，对炉体1内进行清洁，清洁效率更高。

[0013] 所述清扫装置包括基座4和刮刷机构，所述基座4铰接在所述气相沉积炉的侧壁上，所述刮刷机构固定在所述基座4上且随所述基座4翻转置于所述气相沉积炉内。所述刮

刷机构包括伸缩臂3，所述伸缩臂3的一端固定在所述基座4上且与固定在所述基座4上的压

缩机5连通，所述伸缩臂3的另一端固定毛刷2。使用时压缩机5将高压空气打入伸缩臂3中，

使得伸缩臂3伸展，需要反复清洁时则控制高压空气的气压，使得伸缩臂3沿高度方向反复

伸缩，实现炉壁的清洁。

[0014] 所述伸缩臂3包括若干节相互套合的中空管，所述底部的一节中空管固定在所述基座4上且与压缩机5连通。当压缩机5打入空气时，中空管随高压气打入中空管伸出，实现

伸缩。当不工作时多节中空管直接下落相互套合，不会占用大量空间，整体体积小。

[0015] 上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式，不能以此来限定本实用新型保护的范围，本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属

于本实用新型所要求保护的范围。