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多晶硅除磷装置及方法

781   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:35:02
本发明一种多晶硅除磷装置及方法，该装置包括真空室，所述真空室内设有石墨坩埚，所述石墨坩埚外设有保温套，所述保温套外周面缠绕有感应线圈，所述石墨坩埚下方设有石墨垫，石墨垫下方设有水冷盘，所述水冷盘连接收料杆，所述石墨坩埚由上至下分为熔融段、蒸发段和凝固段，所述熔融段与蒸发段之间有隔板，所述隔板上有供硅液通过的进料孔，进料孔处安装有可活动的挡板，所述蒸发段内部设有若干水平交错设置的折流板，底部设有出料孔；所述凝固段的内腔为锥形，底部石墨垫密封配合。本发明通过将硅液通过折流板自然下落，在下落过程中，硅液表面积增加，提高了蒸发除杂的效果，而且成本控制较好。
声明：
“多晶硅除磷装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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